[发明专利]垂直轴线从动测试头机械手配重平衡的对接运动无效
| 申请号： | 01805948.1 | 申请日： | 2001-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN1408065A | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | 阿林·R·霍尔特;布赖恩·R·穆尔;亨利·M·埃考卡 | 申请（专利权）人： | 因泰斯特IP公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李瑞海,王景刚 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一个定位器，例如半导体晶片和装置测试机的测试头载体，包括一个垂直支承和一个支承该测试头的主臂。利用诸如配重一类的平衡力，使主臂悬浮，以便进行微调运动。主臂的悬浮是在一定的传动比下达到的，因此，可利用小的平衡力和配重的大运动来进行微调运动。垂直支承可用不顺从的驱动装置，例如滚珠丝杠机构，来调整。还可以利用微调运动来感测碰撞和其他定位错误，并可以控制垂直支承的驱动装置的工作。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 轴线 从动 测试 机械手 配重 平衡 对接 运动 | ||
【主权项】：
1.一种支承负载的设备，该设备包括：一个进行负载第一位置调整的驱动机构；和一个进行负载第二位置调整的结合机构，该结合机构具有与负载结合的承载部件，和承受平衡力的输入部件，该结合机构具有大于1的传动比，由于传动比，作用在输入部件上的平衡力增加，而产生了一个更大的施加在负载上的合力，该平衡力在基本上无重量的状态下支承该负载。
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