[发明专利]带电粒子束设备的光学柱无效
| 申请号： | 01805798.5 | 申请日： | 2001-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN1406391A | 公开（公告）日： | 2003-03-26 |
| 发明（设计）人： | 汉斯－彼得·福尤尔鲍姆 | 申请（专利权）人： | ICT半导体集成电路测试有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/252;H01J37/18 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 德国海*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于检查样品(14)的带电粒子束设备的小型化光学柱。该柱包括一个带电粒子源(2)，用于提供一个带电粒子束(10)；一个透镜系统，用于引导带电粒子束(10)自源(2)到样品(14)上；及一个外罩(40)，在运行期间该外罩被置为束流加强电位。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 设备 光学 | ||
【主权项】：
1.一种用于用来检查样品(14)的带电粒子束设备的小型化光学柱，包括：一个带电粒子源(2)，用于提供一个带电粒子束(10)；一个透镜系统，用于把带电粒子束(10)从所述源(2)引导到所述样品(14)上；及一个外罩(40)，其中在运行期间所述外罩被置为束加强电位。
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