[发明专利]增加透明导电层电导率的方法无效

专利信息
申请号: 01804306.2 申请日: 2001-11-29
公开(公告)号: CN1451102A 公开(公告)日: 2003-10-22
发明(设计)人: I·D·弗伦奇;P·J·范德扎阿格 申请(专利权)人: 皇家菲利浦电子有限公司
主分类号: G02F1/1362 分类号: G02F1/1362;G02F1/1345;H01B1/08
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 栾本生,梁永
地址: 荷兰艾恩*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种增加透明导电层电导率的方法,其中对透明层成型的光阻材料层具有带锥度的边缘并被部分腐蚀。部分腐蚀使被选择性地覆盖的下面的透明导电体的边缘区域暴露。本方法有一个对透明层单独成型的阶段,但使用对有锥度的光阻层的部分腐蚀,以便暴露透明层的小边缘区域,用导电层(可以是不透明的)覆盖。
搜索关键词: 增加 透明 导电 电导率 方法
【主权项】:
1.一种增加透明导电层电导率的方法,包括:将光阻材料层沉积和成型为与透明导电层所希望的样式对应的形状;和利用光阻材料层将透明导电层成型,其中光阻材料层的边缘区域有锥度,该方法进一步包括以下步骤:将光阻材料层部分腐蚀,使得至少部分的边缘区域被完全除去,从而露出下面的透明导电层;利用金属层将透明导电层的暴露部分有选择地覆盖。
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