[发明专利]生产三氟化氮的方法及其应用有效
申请号: | 01801231.0 | 申请日: | 2001-05-11 |
公开(公告)号: | CN1407949A | 公开(公告)日: | 2003-04-02 |
发明(设计)人: | 大野博基;大井敏夫 | 申请(专利权)人: | 昭和电工株式会社 |
主分类号: | C01B21/083 | 分类号: | C01B21/083 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 刘金辉,林柏楠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在稀释气体存在下使F2气体与NH3气体在气相中于80℃或更低的温度下反应,以生产NF3。因此,以良好的安全性、效率和效益生产出NF3。 | ||
搜索关键词: | 生产 氟化 方法 及其 应用 | ||
【主权项】:
1.一种生产三氟化氮的方法,包括使氟气与氨气在气相中反应,其中该反应在稀释气体存在下于80℃或更低温度下进行。
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