[实用新型]水银式微机械惯性开关

摘要

本实用新型公开了一种水银式微机械惯性开关,涉及传感器领域中的一种开关器件。它由底顶晶片、中间上下晶片、水银腔体、空腔体、沟道、水银珠、电极等部件组成。它采用的原理是该器件承受加速度时,当达到一定阀值,水银腔体中水银珠通过沟道运动到空腔体中接通电极,达到开关作用。它具有无源工作、性能可靠、结构简单、重量轻、体积小、成本低、采用微电子加工技术便于批量生产等特点,特别适用于炮弹、导弹引信上作引信惯性保险开关及作民用产品惯性开关装置。

主权项

1.一种水银式微机械惯性开关，它包括底晶片(1)、顶晶片(4)、绝缘层(5)、(6)、(7)、(8)、电极(13)、(14)，其特征在于还包括1至6层中间下晶片(2)、1至6层中间上晶片(3)、水银腔体(9)、1至6个空腔体(10)、沟道(11)、水银珠(12)，其中底晶片(1)表面上氧化一层绝缘层(5)结构、绝缘层(5)上右端光刻溅射金属剥离出电极(13)、(14)结构，顶晶片(4)表面上氧化一层绝缘层(8)结构，1至6层中间下晶片(2)表面上氧化一层绝缘层(6)结构，1至6层中间上晶片(3)表面上氧化一层绝缘层(7)结构，1至6层中间下晶片(2)及绝缘层(6)上光刻腐蚀水银腔体(9)、沟道(11)及1至6个空腔体(10)，1至6层中间上晶片(3)及绝缘层(7)上光刻腐蚀水银腔体(9)、沟道(11)及1至6个空腔体(10)，1至6层中间下晶片(2)及绝缘层(6)的面与底晶片(1)及绝缘层(5)、电极(13)、(14)的面用绝缘胶粘接固定安装，1至6层中间上晶片(3)及绝缘层(7)的面与顶晶片(4)及绝缘层(8)的面用绝缘胶粘接固定安装，1至6层中间下晶片(2)另一面与1至6层中间上晶片(3)另一面用绝缘胶粘接固定安装，水银腔体(9)与1至6个空腔体(10)通过沟道(11)贯通构成整体结构，水银腔体(9)内灌注水银珠(12)，电极(13)、(14)一端裸露在空腔体(10)内，另一端超声焊接外接引线，底晶片(1)、1至6层中间下晶片(2)、1至6层中间上晶片(3)及顶晶片(4)切成芯片用环氧树脂封装在半导体器件管壳内。