[实用新型]阴极靶修磨器无效
| 申请号： | 01247042.2 | 申请日： | 2001-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN2496129Y | 公开（公告）日： | 2002-06-19 |
| 发明（设计）人： | 赵玉清 | 申请（专利权）人： | 陕西百纳科技发展有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J9/50 | 分类号： | H01J9/50 |
| 代理公司： | 西安新思维专利事务所有限公司 | 代理人： | 徐平 |
| 地址： | 710061 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于工业生产中的制备超硬薄膜的离子源装置中的阴极靶修磨器。包括支架2、电机9和切削装置5,所述切削装置5包括铣刀12,该铣刀12通过刀柄11夹持在铣刀夹头10上,电机9通过传动装置8与切削装置5联接,所述传动装置8与铣刀夹头10间为磁性联接;所述支架2上设有驱动装置13,该驱动装置13与铣刀夹头10联接;所述切削装置5外侧设有波纹管4。本实用新型操作简单,工作效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 靶修磨器 | ||
【主权项】：
1、一种用于工业生产中的制备超硬薄膜的离子源装置的阴极靶修磨器，包括支架(2)、电机(9)和切削装置(5)，所述切削装置(5)包括铣刀(12)，该铣刀(12)通过刀柄(11)夹持在铣刀夹头(10)上，其特征在于：所述电机(9)通过传动装置(8)与切削装置(5)联接，所述传动装置(8)与铣刀夹头(10)间为磁性联接；所述支架(2)上设有驱动装置(13)，该驱动装置(13)与铣刀夹头(10)联接；所述切削装置(5)外侧设有波纹管(4)。
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