[发明专利]等离子体连续聚合处理装置的绝缘结构无效

专利信息
申请号: 01136371.1 申请日: 2001-10-12
公开(公告)号: CN1164791C 公开(公告)日: 2004-09-01
发明(设计)人: 尹东植 申请(专利权)人: 乐金电子(天津)电器有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/56
代理公司: 天津才智专利商标代理有限公司 代理人: 甄洪庆
地址: 30040*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种等离子体连续聚合处理装置的绝缘结构,其结构包括:支持张紧轮的两端的轴支持装置;使轴支持装置与工作间底面之间保持电绝缘的第1绝缘材料;用来使固定螺钉与其周围部件之间保持电绝缘的第2绝缘材料;用作固定螺钉盖的第3绝缘材料。本发明的优点是,消除了聚合处理过程中或更换零件时可能发生的触电事故,避免了在聚合间以外区域发生的异常放电现象,解决了基材表面的涂层薄膜的特性恶化问题。
搜索关键词: 等离子体 连续 聚合 处理 装置 绝缘 结构
【主权项】:
1.一种等离子体连续聚合处理装置的绝缘结构,等离子体连续聚合处理装置包括:电源(10)、开卷间(11)、位于开卷间(11)的开卷轮(14)张紧轮(16)、聚合间(12)、位于聚合间(12)内与基材(17)平行放置的平板状电极(18),缠绕间(13)、位于缠绕间(13)内的张紧轮(16),其特征在于:等离子体连续聚合处理装置的绝缘结构包括:支承张紧轮(16)两端的轴支持装置、使上述轴支持装置与工作间底面之间保持电绝缘的第1绝缘材料(21)、用来连接第1绝缘材料(21)和工作间(27)壁的固定螺钉(24)、使固定螺钉(24)保持电绝缘的第2绝缘材料(22)。
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