[发明专利]集成MOS力敏运放压力传感器用的力敏运算放大器器件

摘要

一种集成MOS力敏运放压力传感器用的力敏运算放大器器件，其特征在于它含有：凹形硅杯，做在N型(100)硅膜片上由完全对称但沟道相互垂直的一对运算放大器构0成以取代力敏运放电路输入端一对运算放大器的PMOS差分输入对管(M1，M2)，做在厚体硅上和上述(M1，M2)管相连的上述力敏运放电路的其余部分。它具有结构简单，压力响应灵敏度高，线性度好，只需一次调零，输入端调零方便，系统温漂和功耗低，元件数量少，无电阻制作工艺，成品率高和生产成本低的优点。

主权项

1、一种集成MOS力敏运放压力传感器用的力敏运算放大器器件，含有力敏运算放大器电路和带硅杯的衬底，其特征在于它含有：上端面做有SiO2层的衬底，开在衬底底面上且带弹性膜片的凹形硅杯，做在该硅杯对侧面应力集中的N型(100)硅膜片上由完全对称但沟道相互垂直的用以取代力敏运算放大器电路输入端一对差分对管的PMOS力敏差分输入对管(M1，M2)，做在厚体硅低应力区分别和上述力敏差分输入对管的漏极相连但同时和其源极相连的取走上述输入端一对差分对管后的力敏运算放大器电路的其余部分。