[发明专利]一种微光学元件的复制方法无效
| 申请号： | 01133734.6 | 申请日： | 2001-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN1428614A | 公开（公告）日： | 2003-07-09 |
| 发明（设计）人： | 邓启凌;杜春雷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 成都信博专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张一红,王庆理 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微光学元件的复制方法，涉及微光学元件的复制技术。该方法采用正性光刻材料(或负性光刻材料)作母板，光敏胶、硅橡胶等材料为复制过程的中间传递板，可复制出与母板凸凹面形相同或相反的微光学元件，故具有较大的灵活性和适用范围。本发明中间过程的传递板可长时间保存及重复使用，复制成本低，复制件的光学性能良好，单元尺寸不受限制，可用于大批量复制价廉的微光学元件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微光 元件 复制 方法 | ||
【主权项】：
1、一种微光学元件的复制方法，其特征在于按下面的工艺流程复制微光学元件：①、针对不同的微透镜参数选择不同的材料(负性光刻材料或正性光刻材料)制作母板，母板是表面具有微透镜列阵浮雕结构的模型(正透镜(凸面形透镜，下同)或负透镜(凹面形透镜，下同)；②、选择图形转移材料(如光敏胶)进行母板复制，得到第一传递板(负透镜或正透镜)；③、选择复制材料(如硅橡胶)对第一传递板进行复制，得到第二传递板(正透镜或负透镜)；④、通过传递板将所需图形制作在光敏胶膜层上，完成微透镜列阵的复制，得到需要的微光学元件(负透镜或正透镜)。
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