[发明专利]用来形成导线连接的设备无效
| 申请号： | 01123224.2 | 申请日： | 2001-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN1334599A | 公开（公告）日： | 2002-02-06 |
| 发明（设计）人： | 彼得·赫斯;卡洛·杜尔 | 申请（专利权）人： | ESEC贸易公司 |
| 主分类号： | H01L21/60 | 分类号： | H01L21/60 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 冯谱 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种借助于一个毛细管(10)用来在一个第一连接区域(2)与一个第二连接区域(3)之间形成导线连接的设备,包括一个图象识别系统,该图象识别系统这样设计,从而刚好在碰撞相应连接区域(2)之前,毛细管(10)的末端(27)进入图象识别系统的图象区域。以这种方式,毛细管(10)在连接区域(2)上的希望碰撞点的位置以及毛细管(10)的末端(27)的位置,能由相同的测量系统确定、估计、及用于毛细管(10)的运动的精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 用来 形成 导线 连接 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用来在一个第一连接区域(2)与一个第二连接区域(3)之间形成导线连接的设备，带有：一个毛细管(10)，用来把导线附着到两个连接区域(2、3)上以及在他们之间引导导线；一个图象识别系统，包括用来确定至少第一连接区域(2)的位置的一个光学系统(12)和一个摄象机(13)，由此由摄象机(13)形成的图象建立一个带有一个第一和一个第二图象轴线的坐标系，该设备的特征在于：在面对着毛细管(10)的光学系统(12、14)一侧的光学系统(12)的一个光轴(23)包括一个对于垂线(21)的角度α1，角度α1不等于零，从而毛细管(10)的末端(27)刚好在碰撞第一连接区域(2)之前在摄象机(13)的图象中是可见的；并且把图象识别系统设计成，借助于由摄象机(13)拍摄的至少一个图象确定相对于第一图象轴线的毛细管(10)在第一连接区域(2)上的期望碰撞点的位置、和相对于第一图象轴线的毛细管(10)的末端(27)的位置。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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