[发明专利]有源矩阵基底、显示器件和图象传感器件有效
| 申请号: | 01121152.0 | 申请日: | 2001-06-02 |
| 公开(公告)号: | CN1162745C | 公开(公告)日: | 2004-08-18 |
| 发明(设计)人: | 和泉良弘;近间义雅;村井淳人 | 申请(专利权)人: | 夏普公司 |
| 主分类号: | G02F1/136 | 分类号: | G02F1/136;G02F1/1343 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 梁永 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 提供了一种有源矩阵基底,能缩短象素电极的制造工艺、通过自对准改善曝光精度和防止象素电极之间的泄漏故障。该有源矩阵基底具有以矩阵形状放置的TFT。在透光基底上形成有栅极信号线和源极信号线。在上述线条上的栅极绝缘膜上按顺序形成半导体层、由沟道保护层左右分开的源极电极和漏极电极。由此制造TFT。然后整个基底上覆盖层间绝缘膜。在层间绝缘膜的顶上形成象素电极,它通过穿过层间绝缘膜的接触孔连接到TFT。通过在层间绝缘膜上施加包含ITO、ATO或ZnO作为透明导电颗粒的一层光敏透明树脂例如负性的聚丙烯树脂,从基底的背侧进行曝光和显影,形成象素电极。 | ||
| 搜索关键词: | 有源 矩阵 基底 显示 器件 图象 传感 | ||
【主权项】:
1.一种有源矩阵基底,包括:以矩阵形状放置的开关元件;控制开关元件的栅极信号线;连接到开关元件、与栅极信号线垂直形成的源极信号线;形成在开关元件、栅极信号线和源极信号线上的层间绝缘膜;和至少形成在层间绝缘膜上、通过穿过层间绝缘膜的接触孔连接开关元件的象素电极;其中所述象素电极由包含至少一种颜料的光敏导电材料形成,使得至少一些象素电极除了作为象素电极之外还被用作滤色片。
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