[发明专利]压电元件的制造方法无效
| 申请号： | 01120620.9 | 申请日： | 2001-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN1334608A | 公开（公告）日： | 2002-02-06 |
| 发明（设计）人： | 杉园敦之;村上信治 | 申请（专利权）人： | 住友特殊金属株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种压电元件的制造方法,该方法在不对压电材料基板的共振特性产生不利影响的情况下,可形成具有较高平面度和平行度的压电材料基板。该方法包括在增强板的表面上形成凹部的工序;通过将具有流动性的粘接剂导入所述增强板的凹部,将所述增强板和压电材料基板接合的工序。由此,按照规定强度将增强板和压电材料基板接合。另外,通过对借助所述粘接剂接合于增强板上的压电材料基板进行研磨,形成具有较高平行度和平面度的压电材料基板。另外,由于可通过有机溶剂等,将粘接剂层溶解,故可在不对压电材料基板施加物理力的情况下,剥离掉增强板。由此,有效地防止压电材料基板的共振特性发生变化。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电元件的制造方法，该方法包括：在增强板的表面上形成凹部的工序；通过将具有流动性的粘接剂导入所述增强板的凹部，将所述增强板和由压电材料制成的基板接合的工序。
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