[发明专利]用来制作压模的电极材料和薄膜无效
| 申请号： | 01116904.4 | 申请日： | 2001-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN1341928A | 公开（公告）日： | 2002-03-27 |
| 发明（设计）人： | 胜村昌广;饭田哲哉;上野崇 | 申请（专利权）人： | 日本先锋公司;株式会社FURUYA金属 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26;C25D1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王勇,张志醒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 提供了一种用来制作压模的材料,它不存在由与抗蚀剂材料中所含电子吸引原子团反应所造成的压模质量降低。制作在图形化抗蚀剂膜2表面上的用来电铸压模材料的电极,由含有作为主要成分的元素Ni和小于25%重量比的添加元素Ru的镍合金薄膜3组成。 | ||
| 搜索关键词： | 用来 制作 电极 材料 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种用来制作压模的电极材料，用作形成在图形化抗蚀剂材料(2)表面上的电极(3)的材料，用来电铸压模材料，其中元素Ni是主要成分，并加入小于25％重量比的元素Ru。
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