[发明专利]基片上导体互连的电测试无效
| 申请号： | 00818564.6 | 申请日： | 2000-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN1425138A | 公开（公告）日： | 2003-06-18 |
| 发明（设计）人： | 克里斯多弗·沃彻 | 申请（专利权）人： | 克里斯多弗·沃彻 |
| 主分类号： | G01R31/305 | 分类号： | G01R31/305 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯,傅康 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及测量导体(4)的一端到另一端的电阻或导体之间的电阻，为此测试目的，与导体无任何机械接触地在导体中建立电流；该方法包括面向并靠近所述导体(4)设置一块包含多个导电区(8、10)的装置板(2)，这些导电区可被个别地置于任何可调电位；用一粒子束(7)照射所述导体(4)上的第一点(C)以从中击出电子，并在所述导体(4)的第二点(B)处注入电子。 | ||
| 搜索关键词： | 基片上 导体 互连 测试 | ||
【主权项】：
1.一种与导体无实际接触地在导体(4)中建立电流的方法，其特征在于包括如下步骤：-面对并靠近所述导体(4)设置一块包含可被个别地设于任何可调电位的多个导电区(8、10)的装置板(2)；-将粒子束(7)作用于所述导体(4)的第一点(C)以从所述导体中击出电子；以及-同时，在所述导体(4)的第二点(B)处注入电子。
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