[发明专利]用于聚合物防反射涂料的非芳族发色团无效
| 申请号： | 00816330.8 | 申请日： | 2000-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN1402840A | 公开（公告）日： | 2003-03-12 |
| 发明（设计）人： | 邵协;R·考克斯;S·V·德什潘德;T·D·弗莱;R·普利吉达 | 申请（专利权）人： | 部鲁尔科学公司 |
| 主分类号： | G03C1/76 | 分类号： | G03C1/76;G03C1/825;G03C1/815 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 徐迅 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种改善的用于生产微型器件的减光化合物。概括地说，这种减光化合物是非芳族的，可直接(用物理方法或化学方法)掺入光刻组合物如底部抗反射涂料(BARC)和电触点或通孔填充材料。本发明的优选非芳族化合物是共轭的脂族和脂环族化合物，它大大提高组合物的等离子蚀刻速率。另外，这种减光化合物可用于吸收波长较短的光。在一个实施例中，本发明的化合物可聚合成既作为组合物的聚合物粘合剂又用作吸光成分。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 聚合物 反射 涂料 非芳族发色团 | ||
【主权项】：
1.一种用于微型石印加工的包含溶解于溶剂体系的聚合物粘合剂的可固化组合物，其特征在于，所述的组合物中含有非芳族的减光化合物，所述的减光化合物吸收波长小于约300nm的光。
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