[发明专利]平整表面的组合物及方法有效
| 申请号： | 00815721.9 | 申请日： | 2000-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN1162490C | 公开（公告）日： | 2004-08-18 |
| 发明（设计）人： | 布赖恩·L·米勒;詹姆斯·A·德克森 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14;H01L21/321 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉;贾静环 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种平整或抛光表面的组合物及以该组合物平整或抛光表面的方法。此组合物包含约5-90重量％发烟金属氧化物及约10-95重量％磨蚀粒子，其中约90％或更多磨蚀粒子(以数目为基准)的粒径不超过100毫微米。本发明组合物可以高抛光效率、均匀度及去除率和最少缺陷，如最少下层结构及地形上的场损失用于平整或抛光表面。 | ||
| 搜索关键词： | 平整 表面 组合 方法 | ||
【主权项】：
1.一种平整或抛光表面的组合物，其包含(a)液态载体及(b)包含5-90重量％发烟金属氧化物及10-95重量％磨蚀粒子的固体，其中90％或更多磨蚀粒子(以数目为基准)的粒径不超过100毫微米。
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