[发明专利]用于负化学增强型抗蚀剂的脱膜剂组合物无效
| 申请号： | 00809600.7 | 申请日： | 2000-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN1161449C | 公开（公告）日： | 2004-08-11 |
| 发明（设计）人： | 吴昌一;李相大;柳终顺 | 申请（专利权）人： | 东进瑟弥侃株式会社 |
| 主分类号： | C11D1/22 | 分类号： | C11D1/22;C11D1/28;C11D3/43;C11D3/24;G03F7/42;C23G5/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 胡交宇 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及用于负化学增强型抗蚀剂的非水性脱膜剂组合物，其具有优异的脱除能力，对各种金属基底板材例如Al，W，TiN，WSi，SiON，SiNx，HTO等具有防腐作用，并且由于其作为非水性脱膜剂，即使经过多次使用还可重复利用，可提高生产率，该抗蚀剂适于在需要进行负化学增强型抗蚀剂脱除过程的高精度加工的电子材料领域使用。为实现上述目的，本发明提供了一种用于负化学增强型抗蚀剂的脱膜剂组合物，含有a)20-35重量％的直链烷基苯磺酸；b)10-34重量％的轻芳香石脑油溶剂；c)30-45重量％的含氯有机化合物；d)15-25重量％的羟基苯；和e)0.5-5重量％的聚氧乙烯辛基苯基醚衍生物。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 增强 型抗蚀剂 脱膜剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种用于负化学增强型抗蚀剂的脱膜剂组合物，含有：a)20-35重量％的直链烷基苯磺酸，表示为下面的化学式1：[化学式1]![]()
其中R为具有10-14个碳原子的烷基；b)10-34重量％的轻芳香石脑油溶剂；c)30-45重量％的含氯有机化合物，所述含氯有机化合物为选自1，2，3-三氯苯，1，2，4-三氯苯，和1，3，5-三氯苯的一种或多种化合物；d)15-25重量％的羟基苯及其衍生物；和e)0.5-5重量％的聚氧乙烯辛基苯基醚衍生物，所述聚氧乙烯辛基苯基醚衍生物为选自具有7-12摩尔环氧乙烷的缩合物的一种或多种衍生物。
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