[发明专利]钒不占主导的半绝缘碳化硅有效
| 申请号: | 00807706.1 | 申请日: | 2000-05-17 |
| 公开(公告)号: | CN1351680A | 公开(公告)日: | 2002-05-29 |
| 发明(设计)人: | C·H·小卡特;M·布拉迪;V·F·茨维特科夫 | 申请(专利权)人: | 克里公司 |
| 主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B23/00;C30B33/00 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 龙传红 |
| 地址: | 美国北*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 公开了一个半绝缘碳化硅体单晶材料,在室温下其电阻率至少为5000Ω-cm,其深能级陷阱元素的浓度比影响这个材料的电阻率的浓度值低,优选地比可检测浓度低,也公开了形成这个晶体的一个方法,和某些产生的器件,这些器件利用了使用根据本发明衬底而形成的微波频率能力。 | ||
| 搜索关键词: | 钒不占 主导 绝缘 碳化硅 | ||
【主权项】:
1.一种半绝缘碳化硅体单晶材料,在室温下其电阻率至少为5000Ω-cm,其深能级陷阱元素的浓度比影响这种晶体的电气性能的浓度值低。
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