[发明专利]钒不占主导的半绝缘碳化硅有效

专利信息
申请号: 00807706.1 申请日: 2000-05-17
公开(公告)号: CN1351680A 公开(公告)日: 2002-05-29
发明(设计)人: C·H·小卡特;M·布拉迪;V·F·茨维特科夫 申请(专利权)人: 克里公司
主分类号: C30B29/36 分类号: C30B29/36;C30B23/00;C30B33/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 龙传红
地址: 美国北*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 公开了一个半绝缘碳化硅体单晶材料,在室温下其电阻率至少为5000Ω-cm,其深能级陷阱元素的浓度比影响这个材料的电阻率的浓度值低,优选地比可检测浓度低,也公开了形成这个晶体的一个方法,和某些产生的器件,这些器件利用了使用根据本发明衬底而形成的微波频率能力。
搜索关键词: 钒不占 主导 绝缘 碳化硅
【主权项】:
1.一种半绝缘碳化硅体单晶材料,在室温下其电阻率至少为5000Ω-cm,其深能级陷阱元素的浓度比影响这种晶体的电气性能的浓度值低。
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