[发明专利]具有改善了误差补偿的过程压力测量装置

摘要

一种用于改善了过程压力测量的误差补偿装置和方法。该装置和方法能够补偿膜片的形变(偏移)和存在于过程野外环境中的介电常数的变化。所述的过程压力传感器(56)充有介电填充流体(95)，它包括环绕膜片(102)放置的至少三个电容器(144、146、148、150)。至少两个电容极板(144、146)位于传导性膜片的一侧，而在该膜片(102)的另一侧放置一个电容极板(148、150)。该方法用以补偿膜片偏移和填充流体(95)的介电常数的变化。压力差误差补偿测量是所测的中心区域(140)处的膜片形变量减去所测的边缘区域(194)处的膜片形变量的函数。测量膜片形变的一种方法是测量该膜片每侧的两个电容器的电容变化，把所得的值相加，从而得到表示所施加压力差的误差补偿输出值(R)。

主权项

1、一种压力传感器，所述压力传感器包括：一个具有第一内壁和第二内壁的腔体，所述第二内壁通常与所述第一内壁相对，所述第一和第二内壁限定一个内腔；一个具有传导区的可形变膜片，所述膜片在所述第一和第二内壁间与所述腔体相连，所述膜片把所述内腔分成第一腔和第二腔；其中所述第一腔由所述第一内壁和所述膜片限定，所述第二腔通常与所述第一腔相对，且由所述第二内壁和所述膜片限定；其中所述的第一和第二腔中都盛装有一种介电填充流体，所采用的填充流体都接受一个压力，并对所述膜片施加相应的力，所述膜片相应于所述第一和第二腔中填充流体所接受到的压力差产生形变；其中所述第一内壁包括一个边缘区域和一个中心区域，所述边缘区域环绕所述中心区域；一个通常在所述中心区域和所述第一腔中与第一内壁相连的第一电极，所述第一电极通常与所述膜片的传导区相对，且与所述传导区电容耦合，以形成第一可变电容器；一个通常在所述边缘区域与所述第一内壁相连的第二电极，所述第二电极通常与所述膜片的传导区相对，且与所述传导区电容耦合，以形成第二可变电容器； 一个与所述第二内壁相连的第三电极，所述第三电极与所述传导区电容耦合，以形成第三可变电容器。