[发明专利]增强的互连结构有效
| 申请号： | 00807435.6 | 申请日： | 2000-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN1165081C | 公开（公告）日： | 2004-09-01 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·埃德尔斯坦;文森特·麦加海;亨利·奈;布赖恩·奥蒂;威廉·普赖斯 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L23/485 | 分类号： | H01L23/485;H01L23/532;H01L21/60 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒;魏晓刚 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种结构，包括铜层(1)、阻挡层(10)、AlCu层(9)和焊接区限制层(7)，其中，AlCu层和阻挡层夹在铜层和焊接区限制层之间。 | ||
| 搜索关键词： | 增强 互连 结构 | ||
【主权项】：
1.一种互连结构，包括铜层、阻挡层、AlCu层以及焊接区限制层，其中，AlCu层和阻挡层夹在铜层和焊接区限制层之间，且阻挡层位于铜层和AlCu层之间，从而提供了铜层和焊接区限制层的坚固互连。
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