[发明专利]用于辊涂的辐射敏感性树脂组合物和辊涂方法无效
| 申请号： | 00804857.6 | 申请日： | 2000-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN1343325A | 公开（公告）日： | 2002-04-03 |
| 发明（设计）人： | 山元研二 | 申请（专利权）人： | 克拉瑞特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C08L101/00 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于辊涂的光敏树脂组合物,其包含一种碱溶性树脂,一种光敏剂和一种非离子氟化学或硅氧烷表面活性剂。非离子氟化学表面活性剂的实例包括全氟烷基磺酰胺的聚亚烷基氧化物加合物、全氟烷基乙醇的聚亚烷基氧化物加合物以及(a)一种丙烯酸全氟烷基酯/甲基丙烯酸甲酯的共聚物和(b)一种聚亚烷基氧化物的混合物。非离子硅氧烷表面活性剂的实例为聚硅氧烷衍生物的聚亚烷基氧化物加合物。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 辐射 敏感性 树脂 组合 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于辊涂的辐射敏感性树脂组合物，其包含一种碱溶性树脂，一种光敏剂和一种非离子氟基表面活性剂。
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