[发明专利]静电电容式应变传感器及其使用方法

摘要

一种静电电容式应变传感器，包括基板(119)和在基板上形成的两个交叉指型—对电极式电容器(209，209A)。该基板在具有平面(或曲面)的弹性体表面上，形成厚度大致一致、介电常数随变形变化的材料的电介质层膜(129)。该电容器由基板表面上的成对电极的交叉指型形成，该成对电极由多个线状导电体做成平行的线状电极形成。在该传感器中，在基板上形成一个电容器作为基准电容，将其用于另一个电容器的温度校正。为检测另一方向的变形，交叉指型中的指的方向大致互相垂直，或使线状电极相对平板中心呈同心圆形状。通过将电容器作为振荡电路的元件装入，可将变形值转换为电容和频率的变化，由于频率可精细抽出，故可容易地检测变形的细微变化。

主权项

1.一种静电电容式应变传感器，其特征在于：该传感器由包括弹性体和电介质层膜的基板以及形成在该基板表面上的至少一组交叉指型-对电极式电容器构成，该基板中，在弹性体的具有平面和曲面中的至少一个面的表面上，形成了厚度大致一致、由介电常数随变形而变化的材料形成的电介质层膜，在该电容器中，在上述基板的表面上，将多个线状导电体作为平行的线状电极构成的至少一对电极组合成交叉指型，以形成一个电容器。