[发明专利]通过微波微结构电极放电产生局部等离子区的装置及方法无效
| 申请号： | 00801870.7 | 申请日： | 2000-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN1321326A | 公开（公告）日： | 2001-11-07 |
| 发明（设计）人： | 斯特凡·格罗塞;约翰内斯·福格特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博施有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 曾立 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出一种产生等离子区的装置,它尤其通过微结构电极放电用于表面处理、气体化学置换或产生光,它具有一个等离子发生装置(1),该装置至少具有一个波导结构(11)。此外设有一个微波发生器,借助它可将电磁微波耦合到波导结构(11)中。波导结构(11)还具有至少一个特别是局部窄限界的等离子区(12),它与气体形成接触。波导结构(11)最好是一个被一种电介质(22)填充的金属空心导体(21)或一个延伸在介电板上的条形导体结构。该装置及由它实施的方法尤其适用于表面的处理或活化或在一个基底上沉积层。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 微波 微结构 电极 放电 产生 局部 等离子 装置 方法 | ||
【主权项】：
1．产生等离子区的装置，它尤其通过微结构电极放电用于表面处理、气体化学置换或产生光，及设有一个等离子发生装置(1)，其中该装置(1)至少具有一个波导结构(11)，其特征在于：设有一个微波发生器，借助它可将电磁微波耦合到波导结构(11)中以产生等离子。
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