[实用新型]一种高气压微波等离子体激励装置无效
| 申请号： | 00211865.3 | 申请日： | 2000-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN2425475Y | 公开（公告）日： | 2001-03-28 |
| 发明（设计）人： | 杨永进;张劲松;张军旗;曹小明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 中国科学院沈阳专利事务所 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 110015 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种高气压微波等离子体激励装置,其特征在于该微波等离子体激励装置由波导一同轴转换机构、透波气体密封窗、带截止段的同轴开路谐振腔和辐射开路同轴腔组成;波导一同轴转换机构同轴线的外导体通过透波气体密封窗与同轴开路谐振腔的外导体相连,波导一同轴转换机构同轴线的内导体通过透波气体密封窗经电容将微波能量耦合给同轴开路谐振腔,辐射开路同轴腔同轴装设于同轴开路谐振腔的内部。本实用新型可以在高的气压情况下实现等离子体激励和维持,并且微波能基本不泄漏转换效率高,同时装置本身具有较长的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气压 微波 等离子体 激励 装置 | ||
【主权项】：
1、一种高气压微波等离子体激励装置，其特征在于：该微波等离子体激励装置由波导一同轴转换机构(1)、透波气体密封窗(2)、带截止段的同轴开路谐振腔(3)和辐射开路同轴腔(4)组成；波导一同轴转换机构(1)同轴线的外导体通过透波气体密封窗(2)与同轴开路谐振腔(3)的外导体相连，波导一同轴转换机构(1)同轴线的内导体通过透波气体密封窗(2)经电容(5)将微波能量耦合给同轴开路谐振腔(3)，辐射开路同轴腔(4)同轴装设于同轴开路谐振腔(3)的内部。
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