[发明专利]研磨工具无效
| 申请号： | 00126965.8 | 申请日： | 2000-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN1285261A | 公开（公告）日： | 2001-02-28 |
| 发明（设计）人： | 高桥务;下前直树;赤田幸治 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | B24D5/00 | 分类号： | B24D5/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨松龄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 其内的超级磨粒26分布于金属电镀物25中的磨粒层22安置于电解沉积轮20的基板21上。由超级磨粒26构成的磨料凹、凸部27A、27B沿半径方向相互交替,而且其截面形状呈信号波状,磨粒凹、凸部27A、27B在磨粒层表面上形成同心圆环形状。浆料排除能力通过磨粒凹部27A提高,并通过磨粒凸部27B来使由抛光研磨表面引起的损伤减小。可以采用有三个同心圆环层或三个螺旋环状的磨粒层12来制作轮120。而且,电解沉积轮20和120适合于作CMP设备的垫修整器。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 工具 | ||
【主权项】：
1．一种研磨工具，它具有磨粒层，在磨粒层中分布于粘接相中的磨粒设置在基板上，其特征在于，在磨粒层的表面上制有凹部和凸部。
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