[发明专利]生产超高纯六氟化钨的方法无效
| 申请号： | 00121603.1 | 申请日： | 2000-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN1281823A | 公开（公告）日： | 2001-01-31 |
| 发明（设计）人： | S·萨利姆;A·E·霍默 | 申请（专利权）人： | 普拉塞尔技术有限公司 |
| 主分类号： | C01G41/04 | 分类号： | C01G41/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 卢新华,杨九昌 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明直接涉及一种生产超高纯(UHP)六氟化钨的方法,通过将一定量粗六氟化钨引入一个蒸发过程,分离为一定量含有挥发性杂质的六氟化钨和一定量的非挥发性金属杂质;将一定量含有挥发性杂质的六氟化钨通过一个气相吸附过程,分离为一定量的半粗六氟化钨产品和一定量的氟化氢非挥发性残余物;将一定量的半粗六氟化钨产品通过一个采用UHP氦气的鼓泡系统,分离为非挥发性的UHP六氯化钨产品。 | ||
| 搜索关键词： | 生产 高纯 氟化 方法 | ||
【主权项】：
1．一种生产超高纯(UHP)六氟化钨的方法，包括：a)将一定量的粗六氟化钨引入一个蒸发过程，用以分离成为一定量的含有挥发性杂质的六氟化钨和一定量的非挥发性的金属杂质；b)将该一定量的含有挥发性杂质的六氟化钨通过一个气相吸附过程，用以分离成为一定量的半粗六氟化钨产品和一定量的作为被吸附残余物的氟化氢；和c)将该一定量的半粗六氟化钨送入一个UHP气体鼓泡系统，用以分离为非挥发的UHP六氟化钨产品。
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