[发明专利]一次性热处理成膜制备锆钛酸铅厚膜的方法无效
| 申请号： | 00119749.5 | 申请日： | 2000-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN1098232C | 公开（公告）日： | 2003-01-08 |
| 发明（设计）人： | 蒲兴华;罗维根;丁爱丽;仇萍荪;何夕云 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C04B35/622 | 分类号： | C04B35/622;H01B3/12;H01L41/00;H03H3/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振苏 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一次性热处理成膜制备锆钛酸铅(PZT)厚膜的方法，属于锆钛酸铅系陶瓷领域。前驱液以醋酸铅、锆和钛的醇盐为原料，以醋酸和水或乙二醇甲醚、甲醇为溶剂，按Pb∶Zr∶Ti＝1∶X∶1-X，0.1≤X≤0.9配比，采用一步法一次性热处理成膜技术。与传统采用的技术相比具有明显的优点大大简化了热处理工艺过程，单层膜制备时间不到20分钟，单层膜厚度大于0.6微米。用此技术制备的PZT压电铁电厚膜性能良好。 | ||
| 搜索关键词： | 一次性 热处理 制备 锆钛酸铅厚膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种一次性热处理成膜制备锆钛酸铅厚膜的方法，包括前驱液配制，热处理过程的选择，其特征在于：(1)前驱液是以三水醋酸铅、锆和钛的醇盐为起始原料，以醋酸和水为溶剂；(2)先把三水醋酸铅充分溶解于醋酸，搅拌加热至105℃去除其中的水分，然后依次加入锆的醇盐和钛的醇盐，使锆、钛、铅三者克分子浓度比为Pb∶Zr∶Ti＝1∶x∶1-x，0.1≤X≤0.9，搅拌均匀后，加入去离子水以防止沉淀。混合溶液在平板炉上加热浓缩，得到浓度为0.7-0.9摩尔/升的前驱液；(3)前驱液用甩胶成膜法制膜，选择Pt/Ti/SiO2/Si为基片，甩胶速度控制在2000-3000转/分钟，时间3-10秒；(4)甩胶后湿膜直接置于650℃-700℃的热板上热处理，时间为10-15分钟制成单层膜；(5)经多次甩胶-热处理-再甩胶，得到所需厚度的膜，无需退火。
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