[发明专利]同步辐射X射线多层膜反射率计装置

摘要

一种同步辐射X射线多层膜反射率计装置，采用单块多层膜反射镜作为色散元件，装置主体由两台Bragg衍射仪构成统一体，单色器和随动摇臂构成第一个衍射仪，所述单色器与随动摇臂构成二倍角关系；样品和探测器构成第二衍射仪，所述样品与探测器也构成二倍角关系。使用单块多层膜反射镜使单色器系统大大简化，同时使得光源传输效率及光通量大大增加，由于整套机构处于同一个真空腔体中，使得结构更加紧凑，整个工程造价也大大降低。

主权项

1.一种同步辐射X射线多层膜反射率计装置，包括X射线光源、色散元件、狭缝、样品和探测器，其特征在于，该色散元件采用单块多层膜反射镜；装置主体是由两台Bragg衍射仪构成统一体的双重二倍角复合机构，单色器和随动摇臂构成第一个衍射仪，单色器由前后狭缝和色散元件组成，随动摇臂上配备样品台和探测器；所述单色器与随动摇臂构成二倍角关系，即所述单色器绕轴旋转θ1角，则随动摇臂带动样品台和探测器作为一个整体绕单色器旋转2θ1角，为样品提供单色光和进行波长扫描；样品和探测器构成第二衍射仪，即反射率计本身，所述样品与探测器也构成二倍角关系，即所述样品绕轴旋转θ2角，则所述探测器绕所述样品旋转2θ2角；单色器色散元件采用单块多层膜反射镜，另外装置还包括在没有任何机械馈入情况下的五路超高真空可控扫描设备和适宜X射线能量范围探测的经改造的真空紫外灵敏的光电二极管探测器系统。