[发明专利]用于列印装置的喷墨头及其制造方法无效
| 申请号： | 00100209.0 | 申请日： | 2000-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN1108928C | 公开（公告）日： | 2003-05-21 |
| 发明（设计）人： | 康宏洲;林振华;吴志成 | 申请（专利权）人： | 威硕科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16;B41J2/14 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚 |
| 地址： | 台湾省新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明用于列印装置的喷墨头及其制造方法，其包括有一形成有多个喷嘴元件的基板，于该基板上形成一第一感光薄膜，再于该第一感光薄膜上定义出多个墨水槽图案；一正光阻形式的第二感光薄膜设于第一感光薄膜上，于该第二感光薄膜上定义出多个喷孔，蚀刻该第二感光薄膜上喷孔图案及第一感光薄膜上墨水槽图案，以形成多个喷孔及墨水槽，一讯号传输装置连接于该基板上，用于将讯号传递至多个喷嘴元件上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 列印 装置 喷墨 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于列印装置的喷墨头的制造方法，其包括下列步骤：步骤一，提供一基板，其上形成有多个喷嘴元件；步骤二，提供一第一感光薄膜于该基板上；步骤三，提供一第一光罩，以便在该第一感光薄膜上定义出多个墨水槽及墨水通道；步骤四，提供一正光阻形式的第二感光薄膜于该第一感光薄膜上；步骤五，提供一第二光罩，以便在该第二感光薄膜上定义出多个喷孔图案；步骤六，蚀刻该第二感光薄膜上的喷孔图案及该第一感光薄膜上的墨水槽及墨水通道图案，以形成多个喷孔、墨水槽及墨水通道；步骤七，提供一讯号传输装置连接于该基板上，用以将讯号传递至该多个喷嘴元件上。
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