[发明专利]花纹蒸发器的图案载体无效
| 申请号: | 99105337.0 | 申请日: | 1999-04-30 |
| 公开(公告)号: | CN1234452A | 公开(公告)日: | 1999-11-10 |
| 发明(设计)人: | W·阿赫特纳;P·肖尔;K·奥贝尔勒;H·纽德尔特;E·温特;T·沃格特;G·克勒姆;G·霍夫曼 | 申请(专利权)人: | 鲍尔泽斯和利博尔德德国控股公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 赵辛 |
| 地址: | 联邦德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 花纹 蒸发器 图案 载体 | ||
1.特别适用于在局部沉积一种阻止以后衬底涂层的并润湿该衬底的介质的情况下,在一种具有吸收气态介质的预定加深图案的装置中把图案产生在一种特别是带状衬底(1)上的图案载体,其中该图案载体与衬底(1)同步运动并与该衬底产生接触,其特征在于,加深图案具有一个底部范围(7),该底部范围相对于与衬底(1)产生接触的图案载体的表面对气态介质具有较高的吸收能力。
2.按权利要求1的图案载体,其特征在于,该图案载体作成印花辊筒并具有一个圆柱形的芯(5),在该芯上涂敷一层多孔层(6),在该多孔层(6)上构成一层与加深图案一致的表层(8)。
3.按权利要求2的图案载体,其特征在于,多孔层(6)包括一层多孔的氧化陶瓷和烧结的金属粉末。
4.按权利要求2或3的图案载体,其特征在于,表层(8)用一种可刻蚀的材料制成。
5.按权利要求1的图案载体,其特征在于,图案载体作成印花辊筒并具有一个圆柱形的芯(5),在该芯上构成加深图案的槽(9),并在该图案载体上借助于阳极氧化产生一层覆盖这些槽的氧化层(12)。
6.按权利要求2至5任一项的图案载体,其特征在于,在表层(8)或氧化层(12)上构成一层与加深图案一致的保护层(10)。
7.按前述权利要求任一项的图案载体,其特征在于,该图案载体具有一个金属的、特别是包括铝、铝合金或黄铜的芯(5)。
8.按前述权利要求任一项的图案载体,其特征在于,该图案载体包括一个具有高导热系数的芯(5)。
9.按前述权利要求任一项的图案载体,其特征在于,构成加深图案的槽分别具有一个大约0.3毫米至0.5毫米的宽度以及一个至少0.3毫米的深度。
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