[发明专利]过滤器过滤材料和使用该过滤材料的空气过滤器装置

说明书

                     技术领域

本发明涉及一种对净室等进行空气净化时使用的空气过滤器过滤材料和使用该过滤材料的空气过滤器装置。更详细地说，涉及一种在例如半导体、液晶等电气电子部件等的制造过程中进行空气净化时使用的过滤器过滤材料和使用该过滤材料的空气过滤器装置。

                    背景技术

作为对净室(クリ-ンル-ム)等进行空气净化时使用的过滤器，本申请人以前曾提出聚四氟乙烯(以下称为“PTFE”)多孔膜(例如特开平5-202217号公报)。另外，在使用PTFE多孔膜的场合下，由于膜本身很薄，为了防止损伤或者防止发生针孔，还曾提出将PTFE多孔膜的两面层合上皮芯结构长纤维的纺粘型非织造布等热塑性材料来进行保护的提案(特开平6-218899号公报)。

但是，上述过去的特开平5-202217号公报和特开平6-218899号公报中提出的过滤器过滤材料，例如，在作为净室中的空气过滤器使用时，发现产生微量的总有机碳(ト-タルオ-ガニソクカ-ボン)(以下称为“TOC”。此处，TOC是指例如十二烷、十三烷、丁基羟基甲苯(BHT)、磷酸酯、苯二甲酸二辛酯、硅氧烷等各种气态有机物的总量。)。在净室等进行空气净化的空间中，一旦TOC高，那么在例如半导体、液晶等的制造过程中就很可能招致品质降低。

                    发明的公开

本发明的目的在于，为了解决上述的过去那些问题，提供一种有机物发生低、以PTFE多孔膜为主的、并且具有空气净化作用的过滤器过滤材料和使用该过滤材料的空气过滤器装置。

为了达到上述目的，本发明的过滤器过滤材料具有下述(1)～(4)中至少一个特征。

(1)特征在于，从过滤器过滤材料检测出的有机物检出量的最大值为，每1g过滤器过滤材料在3ng以下。上述中，有机物检出量的最大值优选为，每1g过滤器过滤材料在2ng以下，更优选在1ng以下。应予说明，本发明中所说的上述“有机物”不是指TOC，而是指被检测出的每一种有机物。

(2)它是一种在聚四氟乙烯多孔膜的至少一面上具有透气性支撑材料的过滤器过滤材料，其特征在于，上述透气性支撑材料在80℃的条件下(采用下文定义的分析方法)检测出的有机物的总量为，每250mg透气性支撑材料在1000ng以下。上述中，被检测出来的有机物的总量优选为，每250mg透气性支撑材料在500ng以下，更优选在150ng以下。

(3)它是一种在聚四氟乙烯多孔膜的至少一面上具有透气性支撑材料的过滤器过滤材料，其特征在于，上述透气性支撑材料的高温加压耐久度为0～15.0。已经发现，上述高温加压耐久度越低，TOC的发生越少。本发明中的透气性支撑材料，其采用下文定义的试验方法测定的高温加压耐久度为0～15.0，优选为0～8.0，特别优选为0～5.0。其机理尚不清楚，但该数值小，就可认为是热裂化、热变形小的材料，可以认为透气性支撑材料本身难以产生作为热裂化结果的杂质(TOC)。

(4)它是一种在聚四氟乙烯多孔膜的至少一面上具有透气性支撑材料的过滤器过滤材料，其特征在于，上述透气性支撑材料实质上是选自聚酯和聚酰胺中的至少一种材料。此处“实质上由聚酯和聚酰胺构成的材料”是指主要由聚酯和聚酰胺构成的、不含例如聚烯烃等能引起透气性支撑材料本身产生有机物的材料和不含在制造加工透气性支撑材料时添加的、能够在空气过滤器装置的使用环境下挥发的各种添加剂等的材料。优选实质上由聚酯材料构成。特别优选由选自聚对苯二甲酸乙二醇酯和聚对苯二甲酸丁二醇酯中的至少一种聚合物构成。

其次，本发明的过滤器元件的特征在于，用上述本发明过滤器过滤材料形成褶裥状。例如，用上述(1)、(2)、(3)、(4)的过滤器过滤材料形成褶裥状。

其次，本发明的空气过滤器装置，是用一种在聚四氟乙烯(PTFE)多孔膜的至少一面上具有透气性支撑材料的空气过滤器过滤材料构成的空气过滤器装置，其特征在于，将上述过滤器过滤材料以波纹状折曲的状态收容在框架结构的支持体内且将周围密封，而且，上述过滤器过滤材料为上述本发明的过滤器过滤材料(例如上述(1)、(2)、(3)、(4)的过滤器过滤材料)。

               附图的简单说明

图1示出本发明一个实施方案的过滤器过滤材料的截面图。

图2示出本发明一个实施方案的空气过滤器装置的立体图。

图3示出图2的隔离物部分的截面图。