[发明专利]二氧化锡煤气(氢敏型)敏感元件及其制备方法无效
| 申请号: | 96108689.0 | 申请日: | 1996-07-16 |
| 公开(公告)号: | CN1049497C | 公开(公告)日: | 2000-02-16 |
| 发明(设计)人: | 王锦芬;黎鼎鑫;万吉高;黎淑萍;庄滇湘;谢宏潮 | 申请(专利权)人: | 昆明贵金属研究所 |
| 主分类号: | G01N27/16 | 分类号: | G01N27/16;H01L49/00 |
| 代理公司: | 云南省专利事务所 | 代理人: | 何通培 |
| 地址: | 650221*** | 国省代码: | 云南;53 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 氧化 煤气 氢敏型 敏感 元件 及其 制备 方法 | ||
1、一种煤气(氢敏型)敏感元件包括:一个六脚胶木底座(1),一个敏感体(2),一个由镍铬丝绕成的螺线管加热线圈(3),一个镀镍的黄铜卡圈(4),一个双层不锈钢丝网罩(5);所说的敏感体(2)由瓷管(2-1)、位于瓷管两端的环形电极(2-2)、一对铂丝电极引线(2-3)、SnO2气体敏感涂层(2-4)、催化复层(过滤层)(2-5)组成,电极引线(2-3)的4支脚分别同底座(1)的1,3和4,6脚焊连,并分别扎在电极(2-2)上,加热线圈(3)穿在瓷管(2-1)内并同底座的2,5脚相连;其特征是:
A、所说的敏感涂层(2-4)由下列组分组成(按基体材料的重量%计):
基体材料SnO2,
贵金属催化剂醋酸钯1-3,硝酸银1-3,
半导体化剂氧氯化锑1-4,
添加剂Al2O31-5,
粘合剂,由乙基纤维素溶于松油醇溶剂中,其浓度为2-4%;
B、所说的催化复层(2-5)由下列组分组成(按担体的重量%计):
担体η-Al2O3或η-Al2O3·SiO2,
贵金属催化剂水合三氯化钌2-3,
粘合剂,由乙基纤维素溶于松油醇溶剂中,其浓度为2-4%;
C、所说的电极(2-2)是用RuO2电极浆料制成的,在距瓷管两端口0.5-0.6mm处用昆明贵金属研究所出售的商品TDE型浆料各画一个圆环,烧结后形成电极;
D、所说的瓷管(2-1)的内径、外径和长度分别为0.8、1.35、4mm;
E、所说的加热线圈(3)是用直径0.06mm的镍铬丝绕成的,线圈圈数52-54,线圈直径0.72mm,线圈电阻44-46欧姆;
F、所说的铂电极引线(2-3)是用直径0.06mm的铂丝,分别扎在RuO2圆环电极上。
2、一种煤气敏感元件的制备方法,其特征包括下述工序:
(1)将镍铬丝按要求绕成线圈;
(2)按要求在瓷管上画RuO2电极,在900-920℃灼烧40-60分钟,冷却后在RuO2电极上扎上铂丝引线;
(3)按化学计量比将SnO2、氧氯化锑、醋酸钯、硝酸银、Al2O3混合后用水调成糊状,120℃烘干,500℃灼烧30分钟,得到SnO2气敏料。将配好的SnO2气敏料用粘合剂调成糊状涂在经工序2后的瓷管上,涂层厚度0.06-0.08mm,自然风干后于700-750℃下灼烧15-20分钟;
(4)按化学计量比将η-Al2O3和水合三氯化钌混合,加水调匀浸渍,120℃烘干,400℃氢还原,得到Ru-η-Al2O3催化复层(过滤层)料,将Ru-η-Al2O3催化复层料用粘合剂调成糊状涂在经工序3的SnO2气敏层上,涂层厚度1-1.5mm,自然风干后于500-550℃下灼烧15-20分钟,得到敏感体(2);
(5)将敏感体(2)的电极引线分别焊接在胶木底座的1,3和4,6脚上,加热线圈穿过瓷管焊接在底座的2,5脚上;
(6)在经过工序5的产品上罩上镀镍黄铜卡圈及不锈钢丝网罩,经滚边后形成元件;
(7)在正常工作条件下通电老化7-10天;
(8)经老化后的元件,进行灵敏度、分辨率、响应、及恢复时间等性能测试。
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