[发明专利]电子束蒸发器

权利要求书

1.一种电子束蒸发器，包括支承板[3]、阴极组件[4]，加速极[5]，电磁偏转机构[6]，坩埚[7]以及水冷套[H]，其中阴极组件[4]由带绝缘子的阴极支杆[41]、阴极丝[42]、聚焦极[43]组成，电磁偏转机构[6]由励磁线圈[61]和极靴[62]构成，阴极组件[4]、加速极[5]形成的电子束在极靴[62]间偏转后轰击施镀材料，施镀材料蒸汽沉积在工件表面，其特征在于：设有底盘[1]，支承杆[2]，棒状靶[B]以及旋转升降机构[8]；施镀材料制成棒状体，布置在原坩埚[7]的轴线处构成接受电子束轰击的棒状靶[B]，该棒状靶[B]由旋转升降机构[8]带动作旋转和升降运动。

2.根据权利要求1的电子束蒸发器，其特征在于：所述的旋转升降机构[8]由夹持器[81]、弹性衬套[82]、齿轮[83]、升降滑块[84]、螺杆[85]、导杆[86]以及花键轴[87]组成，其中螺杆[85]、导杆[86]、花键轴[87]的两端分别安装在底盘[1]和支承板[3]上，夹持器[81]上开有一个用于布置棒状靶[B]和弹性衬套[82]的沉孔，升降滑块[84]上设有一个与螺杆[85]相配合的螺孔、一个与导杆[86]配合的通孔、一个用于布置齿轮[83]及其轴承的沉孔，棒状靶[B]、夹持器[81]、弹性衬套[82]、齿轮[83]及其轴承同轴布置，且通过螺钉与升降滑块[84]连为一体，齿轮[83]与花键轴[87]啮合，转动的花键轴[87]和螺杆[85]分别带动棒状靶[B]作旋转和升降运动。

3.根据权利要求1的电子束蒸发器，其特征在于：所述的棒状靶[B]可用粉状的施镀材料经粉末冶金法制成棒状体。