[发明专利]固态摄像装置及其制造方法

权利要求书

1.一种固态摄像装置，其特征在于，所述的固态摄像装置包括：在至少形成有光敏部的半导体基片上所形成的透明平坦膜层，及形成于上述光敏部及透明平坦膜层上面、由使用水作溶剂的合成感光性材料所形成的彩色滤光片。

2.如权利要求1所述的固态摄像装置，其特征在于，所述透明平坦膜层为正片型感光性热硬化材料。

3.如权利要求2所述的固态摄像装置，其特征在于，所述正片型感光性热硬化材料为聚甲基丙烯酸甲酯和聚缩水甘油甲基丙烯酸酯的共聚物。

4.如权利要求1所述的固态摄像装置，其特征在于，形成上述彩色滤光片的合成感光性材料系将丙烯酸共聚物、含氧多碱酸类及光交联的重氮化合物溶于水而成。

5.如权利要求4所述的固态摄像装置，其特征在于，形成所述的彩色滤光片的合成感光性材料中的上述丙烯酸共聚物为由以下通式表示的重均分子量在5000-10万范围的的单体5-20重量％，

式中，R₁表示氢原子，或CH₃，R₂及R₃互为独立地表示CH₃，C₂H₅，C₆H₅等的烷基或芳基，n为1-10，

2-羟基甲基丙烯酸乙酯45-55重量％，

二异丁胺20-30重量％，

甲基丙烯酸苄酯5-20重量％组成。

6.如权利要求4所述的固态摄像装置，其特征在于，形成上述彩色滤光片的合成感光性材料中的所述重氮化合物为由二苯基胺-4-重氮鎓盐或其衍生物和甲醛组成的缩聚化合物。

7.如权利要求4所述的固态摄像装置，其特征在于，形成上述彩色滤光片的合成感光性材料中的所述重氮化合物为由二苯基胺-4-重氮鎓盐或其衍生物和4，4′-双-甲氧基甲基二苯基醚组成的缩聚物。

8.如权利要求4所述的固态摄像装置，其特征在于，形成上述彩色滤光片的合成感光性材料中的所述重氮化合物为不存在氨基的化合物。

9.如权利要求6所述的固态摄像装置，其特征在于，所述的二苯胺-4-重氮鎓盐或其衍生物包括二苯基胺-4-重氮鎓盐及/或3-甲氧基二苯基胺-4-重氮鎓盐化合物。

10.如权利要求9所述的固态摄像装置，其特征在于，作为形成上述彩色滤光片的合成感光性材料中的所述重氮化合物，是在上述二苯胺-4-重氮鎓盐或其衍生物的苯基间具有如下的一个以上的任一个键的化合物：

-(CH₂)_q^-q为1-5的数，

或-O-R₆-O- R₆为6-12个碳原子或芳基，

或-O-

或-S-。

11.一种固态摄像装置，其特征在于，所述的固态摄像装置包括：在至少形成有光敏部的半导体基片上，由非感光性热硬化材料或负片型感光性热硬化材料所形成的透明平坦膜层；及形成于上述光敏部及透明平坦膜层上面、由使用有机溶剂作溶剂的合成感光性材料所形成的彩色滤光片。

12.如权利要求11所述的固态摄像装置，其特征在于，作为所述彩色滤光片材料中的感光材料由使用有机溶剂作为溶剂的合成感光性材料所形成，所述溶剂中添加了进行光交联的迭氮化合物。

13.一种固态摄像装置的制造方法，所述方法包括：

在至少形成有光敏部的半导体基片上，由使用有机溶剂作为溶剂的正片型感光性热硬化材料形成透明平坦膜的工序；

藉由曝光和显影方法，由使用水作溶剂的合成感光性材料，在所述光敏部及透明平坦膜上面形成彩色滤光片的工序；及，

藉由曝光和显影方法，去除作为外部接线连接部的结合块上面的透明平坦膜的工序。

14.如权利要求13所述的固态摄像装置的制造方法，其特征在于，作为藉由曝光和显影方法，由使用水作溶剂的合成感光性材料，在所述光敏部及透明平坦膜上面形成彩色滤光片的工序，系在形成彩色滤光片图形之后，以所希望的染料进行着色，形成彩色滤光片。