[发明专利]淀积碳的微波增强化学气相淀积方法

权利要求书

1.一种形成碳膜的等离子体化学汽相淀积方法，包括下列步骤：

将含有碳的反应气体引进一反应室；

将微波输入所说反应室；

在所说反应室中建立一磁场，使反应室中预定位置的磁场强度可以产生电子回旋共振；

将所说反应气体转变为一等离子体；

在反应室中将衬底支承在所说位置附近；以及

在所说衬底上淀积碳质薄层，

其特征在于，该反应室里的压强为13.3帕至39900帕。

2.根据权利要求1的方法，其特征在于，所说磁质薄层为金刚石或金刚石状碳。

3.根据权利要求1的方法，其特征在于，所说衬底置放在满足电子回旋共振条件的磁场强度的±21.2％中。

4.根据权利要求1的方法，其特征在于，微波频率为2.45千兆赫，而在所说衬底处磁场强度为875±185高斯。

5.根据权利要求1的方法，其特征在于，在该衬底处的磁场强度单调地随微波的传播方向减小。

6.根据权利要求1的方法，其特征在于，它还包括一种添加到所说反应气体的含氮和/或硼的气体。