[发明专利]光刻生产角度尺寸专用夹具无效

专利信息
申请号: 87105681.X 申请日: 1987-08-22
公开(公告)号: CN1009583B 公开(公告)日: 1990-09-12
发明(设计)人: 李文玉 申请(专利权)人: 长春第一汽车制造厂
主分类号: G03F7/16 分类号: G03F7/16
代理公司: 第一汽车制造厂专利事务所 代理人: 刘玉仁
地址: 吉林省*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 光刻 生产 角度 尺寸 专用 夹具
【权利要求书】:

1、一种光刻加工角度尺游标尺用的照象夹具,由玻璃刻度尺.上模板.下模板.导柱.定位板.定位块.挡板.顶丝.手柄.插销.压板等组成,其特征是:

(1)玻璃刻度尺本体形状和呈内园锥面的游标尺形状相吻合,

(2)扇形定位板园心与下模板园心的偏差小于0.01mm,

(3)手柄与压板接触部分形状分别为球面和V形面,手柄呈浮动状态,

(4)导柱与上模板的配合为滑配合,与下模板的配合为静配合。

2、一种光刻加工角度尺主尺的照象夹具,由定位块.插销.定位挡块.底板.玻璃刻度尺.压块.压紧螺杆.手柄.横杆.压板等组成.其特征是:

(1)玻璃刻度尺的中心孔与底板中心孔用柱销定心。

(2)玻璃刻度尺中心和夹具中心保持重合,其误差不大于0.01mm。

3、根据权利要求1和权利要求2的光刻加工角度尺游标尺及主尺的照象夹具,其特征是:

二者的玻璃刻度尺均是由钢板托与优质玻璃胶结成一体而成。

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