[实用新型]一种零损耗高纯氙气精准分装系统

权利要求书

1.一种零损耗高纯氙气精准分装系统，其特征在于：包括装有待分装高纯氙气的储气罐(1)、用于输送高纯氙气输气管(2)、连接在输气管(2)上的第一铝合金分装瓶(3)和第二铝合金分装瓶(4)、以及用于抽气的真空泵(5)；所述储气罐(1)安放在高精度电子天平秤(6)上，所述储气罐(1)的出口处连接有放气阀(7)；所述第一铝合金分装瓶(3)和第二铝合金分装瓶(4)分别安装在液氮槽(8)内，并且所述第一铝合金分装瓶(3)和第二铝合金分装瓶(4)的进口处分别设置有进气阀(9)；所述输气管(2)远离有真空泵(5)的一端连接有管道气回收真空瓶(10)，所述管道气回收真空瓶(10)的进口处设置有真空回气阀(11)。

2.根据权利要求1所述的一种零损耗高纯氙气精准分装系统，其特征在于：所述第一铝合金分装瓶(3)和第二铝合金分装瓶(4)的进口处均设置有压强计(12)。

3.根据权利要求1所述的一种零损耗高纯氙气精准分装系统，其特征在于：所述输气管(2)上设置有用于过滤输气管(2)内杂质的过滤器(13)。

4.根据权利要求1所述的一种零损耗高纯氙气精准分装系统，其特征在于：所述真空泵(5)与输气管(2)之间设置有截止阀(14)。

5.根据权利要求1所述的一种零损耗高纯氙气精准分装系统，其特征在于：所述储气罐(1)的容积为50L，所述第一铝合金分装瓶(3)和第二铝合金分装瓶(4)的容积均为8L。