[发明专利]适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法

权利要求书

1.一种适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是，包括用于调控SMIF装载机构对8寸晶圆装载传输的SMIF装载控制单元，其中，在调控SMIF装载机构对8寸晶圆的装载传输时，所述SMIF装载控制单元以实时并发处理方式响应多个任务项；

SMIF装载控制单元响应的多个任务项包括第一类任务项以及第二类任务项，其中，所述第一类任务项至少包含任务等待过程，响应第一类任务项所占用的时间片不少于响应第二类任务项的时间片；

基于实时并发处理方式响应多个任务项时，所述实时并发处理方法包括：

响应第一类任务项，并查询存在待响应的外部任务项时，POP强制弹栈并配置索引标记MovingCMD_SN，以跳出当前所响应的第一类任务项，并在主程序WORK_GOON内响应所述外部任务项，其中，所述外部任务项为与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项或第二类任务项；

响应外部任务项后，在主程序WORK_GOON内读取索引标记MovingCMD_SN，以根据所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所响应的第一类任务项。

2.根据权利要求1所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是：在第一类任务项内设置片轮小时间片；

在响应第一类任务项时，基于设置的片轮小时间片进行计时；

在计时过程中，查询未存在待响应的外部任务，则在计时达到所设置的片轮小时间片后，POP主动强制弹栈并配置索引标记MovingCMD_SN，以跳出当前所响应的第一类任务项并进入主程序WORK_GOON；

在主程序WORK_GOON内，查询主程任务序列，以在处理所查询的主程序任务后，读取索引标记MovingCMD_SN，以根据所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所对应的第一类任务项。

3.根据权利要求1所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是：所述第一类任务项，包括调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项、调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项以及用于响应暂停按键的暂停键处理任务项，其中，

所述晶圆装载气缸运动控制任务项，包括SMIF罩壳扣住任务子项、水平旋转气缸的开盒解锁任务子项、垂直升降气缸的上升任务子项以及水平气缸前进的任务子项；

所述晶圆退装气缸运动控制任务项，包括水平气缸后退的任务子项、垂直升降气缸的下降任务子项、水平旋转气缸的关盒锁住任务子项以及SMIF罩壳解扣任务子项；

所述暂停键处理任务项，包括Pause暂停键检测管理任务子项。

4.根据权利要求1所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是：所述第二类任务项，包括通讯相关任务项、人机交互任务项以及传感监测任务项，其中，

所述通讯相关任务项，包括串口中断收有子项、下行命令分析子项、上行数据分析子项以及控制命令的插发管理子项；

所述人机交互任务项，包括Manual/OP按键检测管理子项、灯显状态指示子项以及人机界面提示子项；

所述传感监测任务项，包括出现进场Presence/放好就位Placement物料出现/装载/离位相应的检测报告子项、吸盘真空相关信号仿真模拟的子项以及安全传感检测异常处理子项。

5.根据权利要求3所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是，对响应的第一类任务项以及查询存在待响应的外部任务项，则有：

所响应的当前第一类任务项为调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项或调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项；

查询存在待响应的外部任务项为与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项时，则所述与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项为暂停键处理任务项。

6.根据权利要求5所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是，在响应第一类任务项的过程中，读取索引标记MovingCMD_SN，并基于所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所响应的断点处。