[发明专利]硅片智能长寿命输送装置在审

专利信息
申请号: 202310400646.8 申请日: 2023-04-14
公开(公告)号: CN116581070A 公开(公告)日: 2023-08-11
发明(设计)人: 董文鹏;刘海林;李强强 申请(专利权)人: 中润新能源(徐州)有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L31/18;B08B5/02
代理公司: 南京启冠智兴知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32659 代理人: 刘明浩
地址: 221000 江苏省徐州市高*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硅片 智能 寿命 输送 装置
【权利要求书】:

1.硅片智能长寿命输送装置,包括传送台和机架,所述传送台设置在机架的上端,机架内设置有电机,所述传送台和机架之间设置有传送带,所述传送带分别连接传送台和电机,其特征在于,所述输送装置还包括:

连接圈,所述传送带套接在连接圈上,所述连接圈套接在电机上,所述电机和连接圈之间设置有连接机构,所述连接圈的内壁上设置有与连接机构相匹配的,所述连接机构滑动连接在电机上,所述连接机构能够对连接圈进行锁止,所述连接机构还可以连接连接圈和电机。

2.如权利要求1所述的硅片智能长寿命输送装置,其特征在于,所述电机包括转杆和电机主体,所述电机主体带着转杆转动,所述转杆上开设有多个滑槽,所述连接机构滑动连接在滑槽内。

3.如权利要求2所述的硅片智能长寿命输送装置,其特征在于,连接机构包括电磁块、连接杆和第一无线模块,所述连接杆位于电磁块和第一无线模块之间,所述第一无线模块和电磁块之间设置有第一电源线,所述机架内设置有与第一无线模块相匹配的第二无线模块。

4.如权利要求3所述的硅片智能长寿命输送装置,其特征在于,所述第一电源线上设置有电流转换器,所述滑槽的底壁上设置有与连接机构相匹配的磁吸块。

5.如权利要求3或4所述的硅片智能长寿命输送装置,其特征在于,所述机架内设置有与第二无线模块相匹配的电池,所述电池与电机之间设置有第二电源线。

6.如权利要求所述的硅片智能长寿命输送装置,其特征在于,所述机架上安装有与传送带相匹配的皮带调节机构。

7.如权利要求6所述的硅片智能长寿命输送装置,其特征在于,所述皮带调节机构包括套筒、第一活塞杆和第二活塞杆,所述第一活塞杆滑动连接在套筒内,所述第一活塞杆和第二活塞杆之间设置有压力检测设备,所述第二活塞杆远离压力检测设备的一端转动连接有转动辊。

8.如权利要求1或7所述的硅片智能长寿命输送装置,其特征在于,所述机架靠近皮带调节机构的一侧还设置有皮带清洁机构,所述皮带清洁机构包括气泵和橡胶圈,所述气泵和橡胶圈之间设置有第一连接管。

9.如权利要求8所述的硅片智能长寿命输送装置,其特征在于,所述第一连接管上设置有多个分支管。

10.如权利要求9所述的硅片智能长寿命输送装置,其特征在于,所述气泵和皮带调节机构之间设置有第二连接管,所述套筒上开设有与第二连接管相匹配的进气管道,靠近所述进气管道的一侧设置有电磁阀。

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