[发明专利]一种半导体测试治具

权利要求书

1.一种半导体测试治具，包括基座、检测探针以及用于放置待检测半导体的支撑台，所述支撑台位于所述基座上，其特征在于，还包括：

至少一组用于存放半导体的收纳盒，所述收纳盒位于所述基座上，且收纳盒内还开设有容纳槽；

用于移动半导体的搬运机构，所述搬运机构包括升降板、移动板、除尘组件以及吸附组件，所述升降板通过升降组件安装于基座上，移动板通过移动块滑动安装于升降板内，且升降板内安装有用于带动移动块运动的移动组件，所述检测探针固定安装于移动板上，所述吸附组件包括吸附板和吸盘，所述吸附板通过除尘组件安装于移动板上，吸盘在吸附板上设有多组，且吸附板上还安装有用于清理检测点灰尘的清理组件，所述升降板上还安装有用于控制清理组件工作状态的控制组件；

所述除尘组件包括：

至少一组支撑板，所述支撑板固定安装于移动板上；

第二滑板和第一滑板，所述支撑板与第二滑板之间以及第二滑板与第一滑板之间均通过活塞组件连接，且第二滑板与第一滑板内均设有导气槽；以及

至少一组喷嘴，所述喷嘴与第一滑板内的导气槽相连通；

用于第二滑板与第一滑板之间连接的活塞组件包括按压板和第三弹簧，所述第二滑板通过按压板滑动安装于第二滑板内，第三弹簧用于实现对按压板的弹性支撑；

当第一滑板按压到容纳槽内或者当第一滑板按压到支撑台内时，使得第二滑板首先收缩到第一滑板内，然后支撑板才会收纳到第二滑板内，实现分级收缩；

所述喷嘴倾斜安装于第一滑板上；

所述除尘组件还包括喷气板和导管，所述喷气板固定安装于检测探针的底座上，且喷气板上设置有多组喷头，所述导管一端与喷气板相连通，导管另一端与第二滑板的导气槽相连通；

所述清理组件包括：

清理辊，所述清理辊通过转轴滑动安装于吸附板上，且转轴能够在吸附板上转动；以及

导轮，所述导轮固定安装于转轴上，且导轮与吸附板相切；

所述控制组件包括：

滑块，所述滑块通过导向杆滑动安装于升降板上，且导向杆与升降板之间通过立板连接；

第一弹簧，所述第一弹簧套设于升降板上，用于所述滑块与立板之间的连接；以及

联动杆，所述联动杆一端与滑块固定连接，联动杆另一端与转轴转动连接。

2.根据权利要求1所述的半导体测试治具，其特征在于，所述收纳盒在基座上设置有两组，且两组收纳盒内均设置有支撑组件。

3.根据权利要求2所述的半导体测试治具，其特征在于，所述支撑组件包括放置板和第二弹簧，所述放置板通过第二弹簧滑动安装于收纳盒内。

4.根据权利要求1所述的半导体测试治具，其特征在于，所述升降组件包括螺纹杆和驱动电机，所述螺纹杆转动安装于基座上，且螺纹杆至少安装有一组，多组螺纹杆之间通过传动件连接，所述螺纹杆与所述升降板之间螺纹连接，所述驱动电机安装于基座内，且驱动电机的输出端与其中一组螺纹杆相连接。