[发明专利]一种电子产品芯片生产用晶圆光刻工序预处理设备

权利要求书

1.一种电子产品芯片生产用晶圆光刻工序预处理设备，包括清洗室(1)、脱水室(2)和处理室(3)，其特征在于：所述清洗室(1)、脱水室(2)和处理室(3)的上方设置有移动轨道(6)，移动轨道(6)通过支撑柱(5)固定连接在清洗室(1)、脱水室(2)和处理室(3)两侧外部，移动轨道(6)的外部滑动连接有移动滑块(7)，移动滑块(7)的内部活动连接有升降杆(8)，升降杆(8)的底部固定连接有至少一组夹持机构(9)和驱动组件(10)；

所述夹持机构(9)上下依次固定在升降杆(8)的底部，若干所述夹持机构(9)上下垂直分布。

2.根据权利要求1所述的一种电子产品芯片生产用晶圆光刻工序预处理设备，其特征在于：所述夹持机构(9)包括和升降杆(8)固定连接的支撑块(91)，支撑块(91)的底部固定连接有支撑底杆(92)，支撑底杆(92)的顶部固定连接有外支撑环(93)，外支撑环(93)的顶部转动连接有外活动环(94)，支撑底杆(92)的轴心位置转动连接有轴心定位块(95)，所述支撑块(91)的凹侧部设置有若干活动轮(96)。

3.根据权利要求2所述的一种电子产品芯片生产用晶圆光刻工序预处理设备，其特征在于：所述支撑块(91)的顶部转动连接有活动弧杆(97)，活动弧杆(97)的外部设置有偏转电机(971)，活动弧杆(97)的轴端外部固定连接有连接块(98)，连接块(98)的外部设置有连接管(99)。

4.根据权利要求3所述的一种电子产品芯片生产用晶圆光刻工序预处理设备，其特征在于：所述活动弧杆(97)设置有两个，两个活动弧杆(97)分别位于支撑块(91)的顶部两侧，右侧活动弧杆(97)的底部设置有刷块(910)，右侧活动弧杆(97)的侧部设置有喷嘴(911)，左侧活动弧杆(97)的底部设置有吹风杆(912)。

5.根据权利要求2所述的一种电子产品芯片生产用晶圆光刻工序预处理设备，其特征在于：所述驱动组件(10)包括和升降杆(8)固定连接的固定底板(101)，固定底板(101)的端部转动连接有偏转杆(102)，偏转杆(102)的轴部固定连接有调节蜗轮(103)，调节蜗轮(103)的外部啮合连接有调节蜗杆(104)，调节蜗杆(104)的外部设置有调节电机(105)。

6.根据权利要求5所述的一种电子产品芯片生产用晶圆光刻工序预处理设备，其特征在于：所述偏转杆(102)的活动端底部转动连接有驱动轴(106)，所述驱动轴(106)的外部固定连接有驱动轮(107)，驱动轴(106)的顶部设置有驱动电机(108)。

7.根据权利要求6所述的一种电子产品芯片生产用晶圆光刻工序预处理设备，其特征在于：所述驱动轮(107)的数量和外活动环(94)相同，且驱动轮(107)的竖直高度和外活动环(94)的高度适配，驱动轮(107)活动于外活动环(94)的外周侧。

8.根据权利要求1所述的一种电子产品芯片生产用晶圆光刻工序预处理设备，其特征在于：所述清洗室(1)、脱水室(2)和处理室(3)的内部均设置有内处理腔(4)，内处理腔(4)的顶部活动连接有密封盖(41)，升降杆(8)用于控制夹持机构(9)进出内处理腔(4)，夹持机构(9)位于内处理腔(4)的内部，密封盖(41)密封内处理腔(4)时，夹持机构(9)位于密封盖(41)的底部，驱动组件(10)位于密封盖(41)的顶部。

9.根据权利要求8所述的一种电子产品芯片生产用晶圆光刻工序预处理设备，其特征在于：所述密封盖(41)预留开设有和升降杆(8)、驱动轴(106)适配的贯穿孔，且贯穿孔和升降杆(8)、驱动轴(106)之间设置有密封圈。

10.根据权利要求4所述的一种电子产品芯片生产用晶圆光刻工序预处理设备，其特征在于：所述连接管(99)的外部设置有连接泵(11)，连接泵(11)设置在清洗室(1)、脱水室(2)和处理室(3)的外部，通过连接管(99)和支撑块(91)上的连接块(98)接通，左侧连接块(98)和吹风杆(912)连通，左侧连接管(99)包括与连接泵(11)连接主管和若干与左侧连接块(98)连接的分支管，右侧连接块(98)和喷嘴(911)连通，右侧连接管(99)包括与连接泵(11)连接的主管和若干与右侧连接块(98)连接的分支管，右侧连接管(99)和左侧连接管(99)连接的连接泵(11)相互独立。