[发明专利]一种蚀刻液以及制备蚀刻液的方法在审
| 申请号： | 202310189679.2 | 申请日： | 2023-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN116180081A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 张丁山;王钦;黄丽静;虞城成 | 申请（专利权）人： | 深圳市信维通信股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16 |
| 代理公司： | 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 | 代理人： | 许铨芬 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 以及 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种蚀刻液，其特征在于，所述蚀刻液是由盐酸、过氧化氢和纯净水组成，其中，按质量百分比，所述盐酸占5％-30％,所述过氧化氢占5％-30％，所述纯净水占10％-90％。
2.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于，
按质量百分比，所述盐酸占10％-25％。
3.根据权利要求2所述的蚀刻液，其特征在于，
按质量百分比，所述盐酸占20％。
4.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于，
按质量百分比，所述过氧化氢占10％-25％。
5.根据权利要求4所述的蚀刻液，其特征在于，
按质量百分比，所述过氧化氢占15％。
6.根据权利要求4所述的蚀刻液，其特征在于，
按质量百分比，所述纯净水占70％-85％。
7.根据权利要求5所述的蚀刻液，其特征在于，
按质量百分比，所述纯净水占65％-80％。
8.一种制备如权利要求1-7任意一项所述的蚀刻液的方法，其特征在于
提供盐酸、过氧化氢和纯净水，其中，按质量百分比，所述盐酸占5％-30％,所述过氧化氢占5％-30％，所述纯净水占10％-90％；
将所述盐酸、过氧化氢和纯净水均匀混合。
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