[发明专利]一种晶棒剥离装置及剥离方法在审
| 申请号： | 202310084386.8 | 申请日： | 2023-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN116277551A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 陶为银;蔡正道;乔赛赛;闫兴 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02;B28D7/00 |
| 代理公司： | 苏州佳捷天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 32516 | 代理人： | 李阳 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 剥离 装置 方法 | ||
1.一种晶棒剥离装置，包括机架(1)，其特征在于：还包括设置旋转座(2)以及设置在机架(1)上用于驱动旋转座(2)转动的旋转驱动机构(3)、位于旋转座(2)上方的升降座(4)以及设置在机架(1)上用于驱动升降座(4)升降的升降驱动机构(5)、与升降座(4)可拆卸连接的上盖板(6)以及与旋转座(2)可拆卸连接的下盖板(7)，所述上盖板(6)与下盖板(7)分别晶棒的上端面和下端面粘接。
2.根据权利要求1所述的晶棒剥离装置，其特征在于：所述升降驱动机构(5)包括设置在机架(1)上的连接架(51)、竖向设置在连接架(51)上的直线模组(52)以及固定设置在直线模组(52)的连接板(53)，所述连接板(53)与升降座(4)固定连接。
3.根据权利要求1所述的晶棒剥离装置，其特征在于：所述旋转驱动机构(3)包括设置在机架(1)下方的电机(31)以及与电机(31)配合的减速机(32)，所述减速机(32)的输出端与旋转座(2)固定连接。
4.根据权利要求1所述的晶棒剥离装置，其特征在于：所述上盖板(6)上设置有与晶棒上端面适配的一号槽，所述下盖板(7)上设置有与晶棒下端面适配的二号槽。
5.根据权利要求1所述的晶棒剥离装置，其特征在于：所述上盖板(6)上设置有若干一号脱胶孔，所述下盖板(7)上设置有若干二号脱胶孔。
6.根据权利要求1所述的晶棒剥离装置，其特征在于：所述上盖板(6)与升降座(4)螺纹连接，所述下盖板(7)与旋转座(2)螺纹连接。
7.一种晶棒剥离装置的剥离方法，其特征在于：包括如下步骤：
S1、将晶棒的上端与上盖板(6)粘接，晶棒的下端与下盖板(7)粘接；
S2、将与晶棒粘接后的上盖板(6)与下盖板(7)进行UV保胶；
S3、将保胶后的上盖板(6)与升降座(4)连接，下盖板(7)与旋转座(2)连接；
S4、电机(31)驱动减速机(32)转动，减速机(32)带动旋转座(2)转动，使得旋转座(2)带动下盖板(7)转动，同时直线模组(52)驱动升降座(4)向上运动，此时晶棒受到旋转座(2)产生的扭矩力以及升降座(4)的拉升力，然后晶棒沿改质层分离。
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