[发明专利]保护性金属氟氧化物涂层

权利要求书

1.一种涂布等离子体处理腔室的腔室部件的方法，所述方法包括：

提供由具有实验式M_{x_源}O_{y_源}的金属氧化物组成的金属氧化物源材料，其中M_{x_源}是选自由钆、铝、铈、镝、锆、钙、铒、镧、钕、镱和锶构成的组的金属或多种金属的混合物，并且其中y_源具有的值为x的值的0.1至2倍；以及

执行所述金属氧化物源材料的溅射沉积，以在所述腔室部件上形成金属氟氧化物涂层，其中所述腔室部件选自由基板支撑组件、静电夹盘、环、腔室壁、基底、气体分配板、喷淋头、衬垫、衬垫套件、护罩、等离子体屏蔽件、流量均衡器、冷却基座、腔室观察口、腔室盖、面板和选择性调制装置构成的组，并且其中所述腔室部件包括选自由Al₂O₃、Y₂O₃、钇铝石榴石、Y₄Al₂O₉、Y₂O₃-ZrO₂的固溶体、SiC、AlN、TiO、TiN和AlF构成的组的材料，并且其中所述室部件不包括SiO₂和聚合物；

其中执行所述溅射沉积包括在所述溅射沉积期间将氟离子或氟自由基中的至少一者引入溅射的金属氧化物源材料；

其中形成在所述腔室部件上的所述金属氟氧化物涂层具有实验式M_{x_涂层}O_{y_涂层}F_{z_涂层}，其中M_{x_涂层}是选自由钆、铝、铈、镝、锆、钙、铒、镧、钕、镱和锶构成的组的金属或多种金属的混合物；

其中y_涂层具有的值为x的所述值的0.1至1.9倍，并且z_涂层具有的值为x的所述值的0.1至3.9倍；其中任一者：

M_{x_涂层}具有的原子价为2，并且所述金属氟氧化物涂层包含37-48原子％的金属或多种金属的混合物、10-43原子％的氧和10-53原子％的氟；

M_{x_涂层}具有的原子价为3，并且所述金属氟氧化物涂层包含27-38原子％的金属或多种金属的混合物、10-52原子％的氧和10-63原子％的氟；或者

M_{x_涂层}具有的原子价为4，并且所述金属氟氧化物涂层包含22-32原子％的金属或多种金属的混合物、10-58原子％的氧和10-68原子％的氟；并且

其中所述金属氟氧化物涂层具有1至30微米的厚度与小于0.1％的孔隙度。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括加热所述腔室部件至15至150摄氏度。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述溅射沉积在具有0.1至100mTorr压力的腔室中执行。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述腔室部件基本上由选自由Al₂O₃、Y₂O₃、钇铝石榴石、Y₄Al₂O₉、Y₂O₃-ZrO₂的固溶体、SiC、AlN、TiO、TiN和AlF构成的组的材料构成。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述腔室部件由Al₂O₃、Y₂O₃、钇铝石榴石、Y₄Al₂O₉、Y₂O₃-ZrO₂的固溶体、SiC、AlN、TiO、TiN和AlF构成。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，M_{x_涂层}具有的原子价为2，并且所述金属氟氧化物涂层包含约40-45原子％的金属或多种金属的混合物、约20-35原子％的氧和约20-40原子％的氟。