[实用新型]一种快速排放槽有效

专利信息
申请号: 202223400062.0 申请日: 2022-12-19
公开(公告)号: CN218743599U 公开(公告)日: 2023-03-28
发明(设计)人: 左国军;陈雷;庄海云;李雄朋 申请(专利权)人: 创微微电子(常州)有限公司
主分类号: B08B3/10 分类号: B08B3/10;B08B3/02;B08B13/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 快速 排放
【说明书】:

实用新型提供了一种快速排放槽包括:清洗槽、鼓泡组件、喷淋组件、快排阀以及锁止组件;所述清洗槽的底部开设有适于所述快排阀安装的排液管;所述锁止组件以及所述快排阀套设在所述排液管上,且所述锁止组件适于将所述快排阀固定在所述排液管上;所述鼓泡组件以及喷淋组件均设置在所述清洗槽的上方;所述鼓泡组件适于对清洗槽内的药液鼓氮气;所述喷淋组件适于对清洗槽内的待清洗物体进行喷淋清洗。通过设置大口径的底部排水接管与排水阀,可以快速排干槽内的清洗液。从而达到好的清洗效果。

技术领域

本实用新型涉及清洗领域,具体涉及一种快速排放槽。

背景技术

在清洗行业,全自动湿法清洗设备中,快速排水是一项重要的清洗功能;它能够更有效的将脏污剥离晶圆或者电池片的表面。用户希望排水速度在不产生破片的情况下越快越好,这意味着排水口要做到很大。这对于现有的槽体的制作上,有很大难度,成本难以控制,外形尺寸同样难以控制。

因此,需要涉及一种快速排干槽内的清洗液的快速排放槽,以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种快速排放槽,以实现对清洗槽内的清洗液进行快速排放的目的。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种快速排放槽,包括:

清洗槽、鼓泡组件、喷淋组件、快排阀以及锁止组件;

所述清洗槽的底部开设有适于所述快排阀安装的排液管;

所述锁止组件以及所述快排阀套设在所述排液管上,且所述锁止组件适于将所述快排阀固定在所述排液管上;

所述鼓泡组件以及喷淋组件均设置在所述清洗槽的上方;

所述鼓泡组件适于对清洗槽内的药液鼓氮气;

所述喷淋组件适于对清洗槽内的待清洗物体进行喷淋清洗。

进一步的,所述鼓泡组件包括鼓气管;

所述鼓气管的截面为L形;

所述鼓气管一端伸入所述清洗槽内,且与所述清洗槽的侧壁贴合,另一端与外部氮气源连通。

进一步的,所述快速排放槽还包括有片检测装置;

所述有片检测装置固定设置在所述清洗槽的外壁上。

进一步的,所述锁止组件包括锁紧螺帽以及压紧环;

所述快排阀的外侧壁开设有与所述锁紧螺帽适配的外螺纹;

所述锁紧螺帽以及所述压紧环依次套设在所述排液管上;

所述压紧环插入所述快排阀内;

所述锁紧螺帽适于在旋拧在快排阀时,将所述压紧环与排液管进行压紧。

进一步的,所述压紧环为锥形,且插入所述快排阀的一端的直径小于远离所述快排阀的一端。

进一步的,所述快排阀包括阀体、卡座以及气动密封部;

所述阀体的中部的侧壁开设有排液口;

所述卡座插入所述阀体的顶部;

所述气动密封部螺纹连接在所述阀体的底部;

所述气动密封部适于在外部气压的驱动下,将所述阀体的排液口打开或关闭。

进一步的,所述气动密封部包括:密封主体、活塞杆以及气动套;

所述气动套开设有气动腔;

所述活塞杆的一端穿过所述气动腔的顶部与密封主体固定连接,另一端滑动连接在所述气动腔内;

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