[实用新型]带加热烘干功能的化学清洗槽

说明书

本实用新型涉及化学清洗槽技术领域，具体为带加热烘干功能的化学清洗槽，包括槽体一，所述槽体一内设有槽体二，还包括：加热部，所述加热部用于对槽体二内的水进行加热，所述加热部与槽体二之间设有固定部；风干部，所述风干部用于对清洗完后的槽体二内壁进行风干，且风干部可移动的对内壁进行风干，所述固定部用于将加热部固定在槽体二的外壁上；驱动箱，所述驱动箱内设有用于驱动风干部移动的移动部，所述移动部用于带动风干部沿着水平或垂直方向移动。本实用新型通过设置风机和匚形通风管，风机内的风从匚形通风管吹向槽体二的内壁，使内壁通过匚形通风管内吹出的热风进行风干，这种烘干法不易使内壁开裂，保证槽体二能够长时间的使用。

技术领域

本实用新型涉及化学清洗槽技术领域，具体为带加热烘干功能的化学清洗槽。

背景技术

在半导体制程中，必须定期或不定期地对半导体制程设备的零件在化学清洗槽内进行清洗及再生，以维持半导体制程设备的效能，并可延长设备的使用寿命；通常，物理气相沉积之反应室腔体在使用一段时间后，会在反应室腔体中该遮覆板及母材的表面形成金属镀膜，因此必须在化学清洗槽内对反应室腔体进行洗净与再生，防止金属镀膜破裂或剥落所产生之微尘粒子散布至该基板而影响良品率，这一过程需要用到化学清洗槽实现对半导体零件的清洗。

现有的化学清洗槽中，虽然化学清洗槽带加热和烘干的功能，但还存在以下缺陷：第一、对化学清洗槽的水进行加热时，因无法确定化学清洗槽内水的温度，可能会由于温度过高对清洗的人员造成烫伤；第二、在对化学清洗槽烘干的时候，对清洗槽进行加热，通过高温度来对清洗槽进行烘干，温度过高可能会导致清洗槽破裂，此种烘干法保证不了清洗槽的耐用性。鉴于此，我们提出带加热烘干功能的化学清洗槽。

实用新型内容

为了弥补以上不足，本实用新型提供了带加热烘干功能的化学清洗槽。

本实用新型的技术方案是：

带加热烘干功能的化学清洗槽，包括槽体一，所述槽体一内设有槽体二，还包括：

加热部，所述加热部用于对槽体二内的水进行加热，所述加热部与槽体二之间设有固定部；

风干部，所述风干部用于对清洗完后的槽体二内壁进行风干，且风干部可移动的对内壁进行风干，所述固定部用于将加热部固定在槽体二的外壁上；

驱动箱，所述驱动箱内设有用于驱动风干部移动的移动部，所述移动部用于带动风干部沿着水平或垂直方向移动。

进一步的，所述加热部包括设于槽体二外壁的多个并排排列的加热圈，所述加热圈通过固定部固定在槽体二外壁上。

进一步的，所述固定部包括设于槽体二外壁上的多个并排排列的套环，所述套环将一部分的加热圈包裹住，所述套环通过螺栓固定在槽体二外壁上，所述固定部还包括设于槽体二外壁上且与螺栓相互匹配的螺纹槽，所述螺栓与螺纹槽之间相互正对，且螺栓可转动的设于螺纹槽内。

进一步的，所述移动部包括设于驱动箱内的丝杆，所述驱动箱内设有用于驱动丝杆转动的动力源，所述移动部还包括设于丝杆上的螺纹滑块。

进一步的，所述风干部包括固定于螺纹滑块上的风机，所述风干部还包括固定于风机出风口处的匚形通风管，所述匚形通风管用于将风机所吹出的风运输到槽体二的内壁。

进一步的，所述驱动箱与匚形通风管之间设有滑块，所述滑块的上下两侧设有定位凸块，所述驱动箱上设有与滑块相互匹配的滑槽，滑块可沿着滑槽移动，且滑槽的上下两侧设有与定位凸块相互配套的条形定位槽，定位凸块可沿着条形定位槽移动。

进一步的，所述丝杆的末端安装有转轴，所述转轴的末端安装有齿轮一，垂直方向上的所述丝杆一端设有与齿轮一之间啮合的齿轮二。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：