[实用新型]一种用于大热场降氧的热场部件

说明书

本实用新型公开了一种用于大热场降氧的热场部件，包括设于上保温筒（1）和中保温筒（2）之间的中部导流环（5）和设于下保温筒（3）与炉底（4）之间的炉底导流环（6），中部导流环（5）和炉底导流环（6）的纵截面均为直角三角形结构，中部导流环（5）的两个直角面一（5a）分别与上保温筒（1）和中保温筒（2）的内壁相连，炉底导流环（6）的两个直角面二（6a）分别与下保温筒（3）和炉底（4）的内壁相连，中部导流环（5）和炉底导流环（6）的斜面均对着热场中部设置。本实用新型的优点是减少炉台流氩过程中产生的紊流，改善气体流通，将炉台运行过程中产生的SiO气体有效排出，从而降低晶棒含氧量。

技术领域

本实用新型涉及太阳能级别单晶硅生产热场技术领域，尤其涉及一种用于大热场降氧的热场部件。

背景技术

现有技术中，一般通过优化加热器设计、降低引晶功率等措施来降低晶棒产出头氧，但是仍然存在以下问题：

（1）加热器降晶棒头氧含量会受到设计或者加热器电阻影响，以及随着加热器运行时间增长，加热器腐蚀造成电阻升高，会影响加热器降氧的稳定性；

（2）降氧加热器的实验周期长，实验效果不稳定，大规模导入成本过高；

（3）现有降引晶功率措施较少，通过更换高效毡成本较高。

由于未考虑热场空气动力学设计，导致炉台在运行过程中，在中、上保温筒及下保温筒等处会出现紊流现象，从而造成热场挥发物堆积，气体流通不畅，引起断线、氧高等异常情况。

实用新型内容

本实用新型目的就是为了解决现有热场降氧方式稳定性差、成本高、效果差的问题，提供了一种用于大热场降氧的热场部件，优化热场空气动力学设计，减少炉台流氩过程中产生的紊流，改善气体流通，将炉台运行过程中产生的SiO气体有效排出，从而降低晶棒含氧量。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于大热场降氧的热场部件，包括设于上保温筒和中保温筒之间的中部导流环和设于下保温筒与炉底之间的炉底导流环，中部导流环和炉底导流环的纵截面均为直角三角形结构，中部导流环的两个直角面一分别与上保温筒和中保温筒的内壁相连，炉底导流环的两个直角面二分别与下保温筒和炉底的内壁相连，中部导流环和炉底导流环的斜面均对着热场中部设置。

进一步地，所述中部导流环的斜面设为弧形面一，弧形面一所在圆的圆心O与两个直角面一相交处的连线正好平分两个直角面一之间的夹角。

进一步地，所述炉底导流环的斜面设为弧形面二，弧形面二所在圆的圆心O’与两个直角面二相交处的连线正好平分两个直角面二之间的夹角。

进一步地，所述弧形面一所在圆的圆心O与两个直角面一相交处的连线设为k₁，两个直角面一的平分线设为k₂，k₁与k₂之间的夹角α=±5°~±18°。

进一步地，所述弧形面二所在圆的圆心O’与两个直角面二相交处的连线设为k₁’，两个直角面二的平分线设为k₂’，k₁’与k₂’之间的夹角α’=±5°~±18°。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案的优点具体在于：

（1）本实用新型对炉台内部空气流体模型进行研究，通过优化热场空气动力学设计，减少了炉台流氩过程中产生的紊流，优化了气体流通，将炉台运行过程中产生的SiO气体有效排出，从而降低了晶棒含氧量；

（2）本实用新型通过增加中部热场部件，改善了中上保温气体紊流；

（3）本实用新型通过新增底部热场部件，增加了热场保温性，同时改善了底部气体紊流；