[实用新型]一种硅片线切中斜线网距离测量的工装

权利要求书

1.一种硅片线切中斜线网距离测量的工装，其特征在于：

包括L型的透明基板（5），透明基板（5）包括相互垂直的竖直板（51）和水平板（52），竖直板（51）所在方向设为Z轴，水平板（52）所在方向设为Y轴，水平板（52）上与Y轴相互垂直的方向设为X轴；

水平板（52）上设有一对凹槽（52a），凹槽（52a）沿着X轴方向设置，且其内连有对应的菲林尺（6），两个菲林尺（6）的间距n与宇晶切片机的轴距相同。

2.根据权利要求1所述的硅片线切中斜线网距离测量的工装，其特征在于：

所述透明基板（5）为高透亚克力板。

3.根据权利要求1或2所述的硅片线切中斜线网距离测量的工装，其特征在于：

所述竖直板（51）沿着Z轴设于导轮（3）的一侧，且二者相切形成基准面H。

4.根据权利要求1或2所述的硅片线切中斜线网距离测量的工装，其特征在于：

所述凹槽（52a）沿X轴方向的长度与水平板（52）的宽度相同。

5.根据权利要求1或2所述的硅片线切中斜线网距离测量的工装，其特征在于：

所述菲林尺（6）沿X轴方向的长度与凹槽（52a）沿X轴方向的长度相同。