[实用新型]一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具有效
| 申请号: | 202222002261.X | 申请日: | 2022-08-01 |
| 公开(公告)号: | CN218380485U | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
| 发明(设计)人: | 李庆丰;骆树立;王建堂;骆如河;骆胜华;骆胜磊;骆利军;王壮伟;骆胜凯;骆胜喜 | 申请(专利权)人: | 河北恒博新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号: | F27D5/00 | 分类号: | F27D5/00 |
| 代理公司: | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人: | 赵洪娥 |
| 地址: | 057250 河北省邯郸市曲周经济开发*** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 尺寸 管状 陶瓷 烧结 | ||
1.一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于:包括立式烧结窑炉(1),所述立式烧结窑炉(1)的四周固定设有加热棒(2),所述立式烧结窑炉(1)内设有多层套设于靶材(5)上的隔板(3),所述靶材(5)放置于底墩上,所述隔板(3)与底墩以及隔板(3)之间均由支柱(4)支撑。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于: 所述每层隔板(3)均为整块隔板,且隔板(3)上均匀开设有多个靶材套孔。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于:所述每层隔板(3)均由多块大小相等的隔板无缝拼接而成,所述每块隔板中心均开设有一个靶材套孔。
4.根据权利要求2或3所述的一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于:所述靶材套孔的孔径比靶材(5)的外径大1~5mm。
5.根据权利要求4所述的一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于:所述靶材套孔的孔径比靶材(5)的外径大2mm。
6.根据权利要求1所述的一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于:所述加热棒(2)均布于立式烧结窑炉(1)的四周。
7.根据权利要求1所述的一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于:所述隔板(3)之间的层高为200~600mm。
8.根据权利要求1所述的一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于:所述隔板(3)之间的层高为300mm。
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