[实用新型]一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具有效

专利信息
申请号: 202222002261.X 申请日: 2022-08-01
公开(公告)号: CN218380485U 公开(公告)日: 2023-01-24
发明(设计)人: 李庆丰;骆树立;王建堂;骆如河;骆胜华;骆胜磊;骆利军;王壮伟;骆胜凯;骆胜喜 申请(专利权)人: 河北恒博新材料科技股份有限公司
主分类号: F27D5/00 分类号: F27D5/00
代理公司: 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 代理人: 赵洪娥
地址: 057250 河北省邯郸市曲周经济开发*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 尺寸 管状 陶瓷 烧结
【权利要求书】:

1.一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于:包括立式烧结窑炉(1),所述立式烧结窑炉(1)的四周固定设有加热棒(2),所述立式烧结窑炉(1)内设有多层套设于靶材(5)上的隔板(3),所述靶材(5)放置于底墩上,所述隔板(3)与底墩以及隔板(3)之间均由支柱(4)支撑。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于: 所述每层隔板(3)均为整块隔板,且隔板(3)上均匀开设有多个靶材套孔。

3.根据权利要求1所述的一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于:所述每层隔板(3)均由多块大小相等的隔板无缝拼接而成,所述每块隔板中心均开设有一个靶材套孔。

4.根据权利要求2或3所述的一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于:所述靶材套孔的孔径比靶材(5)的外径大1~5mm。

5.根据权利要求4所述的一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于:所述靶材套孔的孔径比靶材(5)的外径大2mm。

6.根据权利要求1所述的一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于:所述加热棒(2)均布于立式烧结窑炉(1)的四周。

7.根据权利要求1所述的一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于:所述隔板(3)之间的层高为200~600mm。

8.根据权利要求1所述的一种大尺寸管状陶瓷靶材的烧结窑具,其特征在于:所述隔板(3)之间的层高为300mm。

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