[实用新型]刻蚀风刀

说明书

本实用新型涉及刻蚀风干槽风刀技术领域，公开了一种刻蚀风刀，包括外风刀管道,内风刀管道，所述内风刀管道位于所述外风刀管道内部、且可绕自身轴线相对所述外风刀管道旋转,以及连通所述内风刀管道的进风管，所述进风管用于为所述内风刀管道通风,其中，所述内风刀管道设有风槽口，所述外风刀管道设有缺口，所述缺口的尺寸大于所述风槽口的尺寸，所述风槽口经由所述缺口暴露在外，当所述内风刀管道绕自身轴线旋转时，所述风槽口在所述缺口的开口范围内移动，可以在开机状态下随时调整刻蚀风刀的出风角度，能够实时确认调整效果，提高调整效率。

技术领域

本实用新型涉及刻蚀风干槽风刀技术领域，特别涉及一种刻蚀风刀。

背景技术

在太阳能电池的制造过程中，硅片需要在刻蚀后才能使用，在刻蚀过程中，需要使用风刀或热烘干机对硅片进行风干，热烘干机结构复杂，安装成本高，因此，在刻蚀工序中，对硅片的风干更多使用风刀。

然而，现有风刀的出风角度相对固定，当刻蚀的硅片不同时，风刀的吹干效果不同，需要对风刀的出风角度进行调整，才能确保把硅片吹干，但现有风刀的结构复杂，调整出风角度时，需要停机后调整，调整后开机根据吹干效果再确定是否需要进一步调整，调整效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种刻蚀风刀，可以在开机状态下随时调整刻蚀风刀的出风角度，能够实时确认调整效果，提高调整效率。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种刻蚀风刀，包括：

外风刀管道；内风刀管道，所述内风刀管道位于所述外风刀管道内部、且可绕自身轴线相对所述外风刀管道旋转；以及连通所述内风刀管道的进风管，所述进风管用于为所述内风刀管道通风；其中，所述内风刀管道设有风槽口，所述外风刀管道设有缺口，所述缺口的尺寸大于所述风槽口的尺寸，所述风槽口经由所述缺口暴露在外，当所述内风刀管道绕自身轴线旋转时，所述风槽口在所述缺口的开口范围内移动。

本实用新型实施方式相对于现有技术而言，包括外风刀管道、内风刀管道和连通内风刀管道的进风管，进风管用于为内风刀管道通风，内风刀管道位于外风刀管道内部、且可绕自身轴线相对外风刀管道旋转，内风刀管道设有用于出风的风槽口，外风刀管道设有用于将风槽口暴露于外部环境的缺口，当内风刀管道绕自身轴线旋转时，风槽口在缺口的范围内移动，这样，在刻蚀风刀的使用过程中，可以直接转动内风刀管道，改变风槽口的位置，从而调整刻蚀风刀的出风角度，即可以在开机状态下随时调整刻蚀风刀的出风角度，能够实时确认调整效果，提高调整效率。

可选的，所述风槽口为多个，所述缺口为多个，所述风槽口和所述缺口一一对应连通。设置多个风槽口和多个缺口，并使风槽口和缺口一一对应连通，这样，在硅片移动的过程中，刻蚀风刀有多个位置可以对硅片进行风干，提高风干效果。

可选的，所述外风刀管道垂直于自身轴线的截面为圆环状，所述缺口在所述圆环周向方向上的长度为所述圆环周长的四分之一。外风刀管道垂直于自身轴线的截面为圆环状，缺口在圆环周向方向上的长度为圆环周长的四分之一，即缺口的弧度为90°，这样，可以使风槽口有一个较大的调整范围，可以满足不同硅片的风干需求。

可选的，所述外风刀管道设有通孔，所述进风管固定连接所述通孔的边缘，所述内风刀管道设有进风口，所述进风口的尺寸大于所述通孔，所述内风刀管道绕自身轴线旋转过程中，所述通孔和所述进风口保持连通。外风刀管道设有通孔，进风管固定连接通孔的边缘，内风刀管道设有进风口，进风口的尺寸大于通孔，当内风刀管道绕自身轴线旋转过程中，通孔和进风口保持连通，这样，可以确保在内风刀管道旋转时，进风管始终能正常向内风刀管道供气。

可选的，所述进风管为多个，所述通孔为多个，所述进风管和所述通孔一一对应连接。进风管设置为多个，通孔也为多个，进风管和通孔一一对应连接，增加进风管的输出口，减小输出口的面积，这样，进风管内部的风压可以维持在较高的状态。